[實用新型]可倒式補償擋板機構

無效

• 申請號: 200720103803.5
• 申請日: 2007-03-16
• 公開（公告）號: CN201010689Y
• 公開（公告）日: 2008-01-23
• 發明（設計）人: 劉潔雅
• 申請（專利權）人: 北京北儀創新真空技術有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;G02B1/10
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 張濤

技術領域

本實用新型屬于光學部件制造設備領域，特別涉及一種光學鍍膜設備。

背景技術

光學鍍膜設備包括作為被鍍工件(光學片等)的載體的工件盤、工件盤下部設置的蒸發源等，工件盤上設有通孔，用于安裝被鍍工件，在光學鍍膜設備中，由于蒸發源距離光學片上各部位遠近不同，以及同一光學片通常會多次蒸不同的膜料，因此蒸發源蒸發的膜料不易均勻地蒸鍍在被鍍工件表面，目前往往采用補償擋板遮擋過多的蒸發材料，避免鍍膜的厚度不均勻。

現有的補償擋板機構常采用的結構如圖1所示，補償擋板11固定在一桿狀定位體12的一端，桿狀定位體12的另一端加工有外螺紋，桿狀定位體12設置有外螺紋一端與一下端固定于真空室底板上的桿連接，這一桿通過上端設置的內螺紋與桿狀定位體12連接。補償擋板11的位置變化可以通過桿狀定位體12與桿之間的螺紋連接來調節。

現有的補償擋板機構存在以下不足：除通過前述螺紋連接可以進行的微小位置調整外，補償擋板一經安裝，就會固定在一個位置，使補償擋板不能方便地根據需要補償的部位進行調整，使補償效果差；在不需要使用補償擋板的情況下，由于補償擋板不能調整位置，只能保持原有的設置狀態，此時補償擋板對蒸發源造成不必要的阻擋，一方面導致蒸發材料(膜料)的浪費，另一方面補充擋板受到了污染，不利于重復使用；另外，補償擋板與桿狀定位體接觸面積較小，即桿狀定位體對補償擋板的支撐面積小，補償擋板受熱后容易變形，這種變形使補償效果變差，被鍍工件的膜層不均勻，易變形的補償擋板重復使用性差。

實用新型內容

針對現有補償擋板機構存在的補償擋板位置固定，進而導致了補償效果差、補償擋板易受污染和重復使用性差的問題，本實用新型提供了一種易于調節補償擋板位置的可倒式補償擋板機構。

本實用新型的技術方案如下：

可倒式補償擋板機構，包括設置于真空室內的補償擋板、定位體，補償擋板直接或間接連接于定位體的一端，所述定位體的另一端為活動連接端，所述活動連接端直接或間接活動連接于真空室壁上。

上述活動連接端套接在可轉動軸的一端，所述可轉動軸的另一端與真空室壁外的調節裝置相連。

上述調節裝置為真空室壁外的旋轉汽缸。

所述定位體為L型支架，L型支架的一端連接于所述補償擋板，另一端直接或間接活動連接于真空室壁。

上述可轉動軸的軸線與L型支架兩支架邊構成的平面垂直。

所述補償擋板通過連接架固定連接于定位體的一端；所述補償擋板部分或全部設置于連接架上，連接架的一端固定連接于定位體。

包圍定位體活動連接端設置有一凹形槽，定位體另一端從所述凹形槽開口處伸出設置。

上述凹形槽在垂直于真空室壁方向凹陷，所述凹形槽在垂直地面方向的長度大于或等于活動連接端所在的支架邊長度。

在L型支架設置有活動連接的支架邊上設置有限位釘，所述限位釘軸線與所述支架邊長軸垂直；所述限位釘長度為當活動連接端所在的支架邊處于水平狀態時，所述限位釘與所述凹形槽的一邊接觸。

本實用新型的技術效果如下：

本實用新型定位體的活動連接端直接或間接活動連接于真空室壁，使得定位體能依靠真空室壁進行較大范圍的移動，從而使與其相連的補償擋板也能夠有很大的活動范圍，活動連接端與真空室壁外的調節裝置相連，可以根據鍍膜的需要在真空室外調整定位體的位置，從而實現對補償擋板的位置調整，使補償效果得到提高。在不需要補償時，可以將補償擋板調整到蒸發材料不能蒸發到或較少蒸發到的位置，不但使補償擋板避免受到污染，而且便于更換蒸發源材料，即不需要拆卸補償擋板就可進行各種更換。將補償擋板部分或全部設置于連接架上，加大了對補償擋板的支撐面積，使得連接架對補償擋板起到了支撐作用，補償擋板在受熱后不易變形，提高了補償擋板的重復使用性。上述措施均有效提高了補償效果，提高了鍍膜的均勻性。

活動連接端套接在穿過真空室壁的可轉動軸上，可以在真空室壁外控制定位體的轉動，轉動方式便于補償擋板的位置調整。

定位體采用L形支架結構可以使定位體的活動連接端直接或間接設置在真空室側壁上，避免由于定位體設置于真空室底板造成定位體占據較大真空室空間而影響蒸鍍效果。

設置連接架連接補償擋板與定位體便于使補償擋板避免彎折等結構，由于補償擋板需要經常更換，由此可以降低這一部分的加工成本。

采用凹形槽包圍定位體活動連接端設置這一結構，使得定位體活動連接端避免受到蒸發源污染，有利于延長定位體活動連接端處密封、軸承等部件的使用壽命。