[實用新型]可倒式補償擋板機構

無效

• 申請號: 200720103803.5
• 申請日: 2007-03-16
• 公開（公告）號: CN201010689Y
• 公開（公告）日: 2008-01-23
• 發明（設計）人: 劉潔雅
• 申請（專利權）人: 北京北儀創新真空技術有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56;G02B1/10
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 張濤

1.可倒式補償擋板機構，包括設置于真空室內的補償擋板、定位體，補償擋板直接或間接連接于定位體的一端，其特征在于所述定位體的另一端為活動連接端，所述活動連接端直接或間接活動連接于真空室壁上。

2.根據權利要求1所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于所述活動連接端套接在可轉動軸的一端，所述可轉動軸的另一端與真空室壁外的調節裝置相連。

3.根據權利要求2所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于所述調節裝置為真空室壁外的旋轉汽缸。

4.根據權利要求3所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于所述定位體為L型支架，L型支架的一端連接于所述補償擋板，另一端直接或間接活動連接于真空室壁。

5.根據權利要求4所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于所述可轉動軸的軸線與L型支架兩支架邊構成的平面垂直。

6.根據權利要求1至5之一所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于所述補償擋板通過連接架固定連接于定位體的一端；所述補償擋板部分或全部設置于連接架上，連接架的一端固定連接于定位體。

7.根據權利要求5所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于包圍定位體活動連接端設置有一凹形槽，定位體另一端從所述凹形槽開口處伸出設置。

8.根據權利要求7所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于所述凹形槽在垂直于真空室壁方向凹陷，所述凹形槽在垂直地面方向的長度大于或等于活動連接端所在的支架邊長度。

9.根據權利要求5所述的可倒式補償擋板機構，其特征在于在L型支架設置有活動連接的支架邊上設置有限位釘，所述限位釘軸線與所述支架邊長軸垂直；所述限位釘長度為當活動連接端所在的支架邊處于水平狀態時，所述限位釘與所述凹形槽的一邊接觸。