[實用新型]三軸集成壓阻式加速度傳感器

有效

• 申請號: 200720102808.6
• 申請日: 2007-10-19
• 公開（公告）號: CN201083760Y
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 楊擁軍;徐淑靜;何洪濤
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01P15/12
• 分類號: G01P15/12;G01P15/18
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所
• 代理人: 張明月

1.三軸集成壓阻式加速度傳感器，包括三個相互獨立的硅MEMS壓阻式加速度傳感器，其特征在于：測量X向和Y向加速度信號的兩個硅MEMS加速度傳感器的結構相同，它們都包括硅框架、質量塊、扭轉梁、敏感梁以及設置在敏感梁上表面的壓敏電阻，質量塊和硅框架之間通過支撐梁和敏感梁連接；上述兩個硅MEMS壓阻式加速度傳感器在平面內垂直分布，第三個用于測量Z方向的加速度信號的壓阻式加速度傳感器的壓敏電阻也設置在懸臂梁的上表面。

2.根據權利要求1所述的三軸集成壓阻式加速度傳感器，其特征在于測量X向和Y向加速度信號的兩個硅MEMS壓阻式加速度傳感器具體結構為：包括硅框架、質量塊、敏感梁及位于敏感梁上的壓敏電阻，敏感梁互相對稱的設置在質量塊的兩側，敏感梁的厚度小于質量塊的厚度，在敏感梁的上表面設置有壓敏電阻；在質量塊的另外兩個側面上設置有厚度大于敏感梁的支撐梁。

3.根據權力要求1所述的三軸集成壓阻式加速度傳感器，其特征在于：測量Z向加速度信號的壓阻式加速度傳感器由硅框架、質量塊、懸臂梁以及設置在懸臂梁上表面的壓敏電阻組成，質量塊位于硅框架中并通過懸臂梁與硅框架連接成一體，質量塊的每個側面和硅框架之間有一個或多個懸臂梁，四個側面的懸臂梁數量相等并對稱分布，懸臂梁的一端或兩端制作有檢測應力大小的壓敏電阻。

4.根據權利要求1所述的三軸集成壓阻式加速度傳感器，其特征在于：三個硅MEMS壓阻式加速度傳感器采用完全相同的工藝制作在一個芯片上。