[實(shí)用新型]一種氣壓控制裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200720076823.8 | 申請(qǐng)日： | 2007-10-31 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN201097222Y | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-08-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 束劍平;王衛(wèi);李小平;楊園園 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G05D16/00 | 分類號(hào)： | G05D16/00 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氣壓 控制 裝置 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1、一種氣壓控制裝置，它包括供氣回路和排氣回路，其特征在于：供氣回路具有減壓閥(4)、毛細(xì)管(6)和作為供氣回路旁路的單向安全閥(7)和精度控制閥(8)，排氣回路具有毛細(xì)管(11)。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣壓控制裝置，其特征在于：供氣回路毛細(xì)管(6)和排氣回路毛細(xì)管(10)具有不同的直徑、長(zhǎng)度。
3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣壓控制裝置，其特征在于：所述精度控制閥(8)包括由閥蓋(73)、閥體(74)、閥座(75)組成的精度控制閥外殼，進(jìn)氣口(70)，釋放口(71)、(72)，由下閥座(711)、止回球(712)、過(guò)濾片(713)、擋圈(714)、定心套(715)、密封圈(716)組成的下部模塊，以及由上閥座(721)、止回球(722)、過(guò)濾片(723)、擋圈(724)、定心套(725)、密封圈(726)組成的上部模塊。
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