[實用新型]一種刷子間距調節工具有效
| 申請號： | 200720075308.8 | 申請日： | 2007-10-09 |
| 公開（公告）號： | CN201140189Y | 公開（公告）日： | 2008-10-29 |
| 發明（設計）人： | 陳肖科 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04;B08B3/04;B08B1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 刷子 間距 調節 工具 | ||
1、一種刷子間距調節工具，其用于調節清洗裝置中兩個刷子之間的間距，清洗裝置可以控制兩個刷子閉合和打開，晶圓置于兩個刷子的中間；兩個刷子均有液體流出端和液體流入端；其特征在于，刷子間距調節工具包括一個干端調節工具和一個濕端調節工具，分別用于測量兩個刷子的液體流出端之間的間距和液體流入端之間的間距；其中干端調節工具和濕端調節工具均設有一個測量部，干端調節工具的測量部的寬度等于兩個刷子液體流出端之間的理想間距，濕端調節工具的測量部的寬度等于兩個刷子液體流入端之間的理想間距；所述液體流出端之間的理想間距是在確保兩個刷子恰好接觸時，兩個刷子的液體流出端之間的間距；所述液體流入端之間的理想間距是在確保兩個刷子恰好接觸時，兩個刷子的液體流入端之間的間距。
2、如權利要求1所述的一種刷子間距調節工具，其特征在于，干端調節工具包括水平設置的支撐部，便于操作人員控制的手持部，其中支撐部與測量部垂直設置，可以支撐在兩個刷子之上。
3、如權利要求1所述的一種刷子間距調節工具，其特征在于，濕端調節工具包括水平設置的支撐部，便于操作人員控制的手持部，其中支撐部為與測量部垂直，可以支撐在兩個刷子之上。
4、如權利要求1所述的一種刷子間距調節工具，其特征在于，干端調節工具的測量部和濕端調節工具的測量部可以是長方體結構，其分別垂直放置在兩個刷子的液體流出端之間和液體流入端之間，橫向寬度對應等于兩個刷子液體流出端之間的理想間距和液體流入端之間的理想間距。
5、如權利要求1所述的一種刷子間距調節工具，其特征在于，干端調節工具的測量部和濕端調節工具的測量部可以是圓柱體結構，其分別垂直放置在兩個刷子的液體流出端之間和液體流入端之間，橫向直徑對應等于兩個刷子液體流出端之間的理想間距和液體流入端之間的理想間距。
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