[實(shí)用新型]一種放電氣體環(huán)境離子真空規(guī)管輔助儀器無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200720074626.2 | 申請(qǐng)日: | 2007-09-13 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN201075049Y | 公開(kāi)(公告)日: | 2008-06-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 徐旭;李林森;周前紅;梁榮慶 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 復(fù)旦大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01L21/30 | 分類號(hào): | G01L21/30 |
| 代理公司: | 上海正旦專利代理有限公司 | 代理人: | 陸飛;盛志范 |
| 地址: | 20043*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 放電 氣體 環(huán)境 離子 真空 輔助 儀器 | ||
1.一種放電氣體環(huán)境電離真空規(guī)管輔助儀器,其特征在于,包括如下結(jié)構(gòu)單元:
一個(gè)金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的離子屏蔽電極(1);
一個(gè)與金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的離子屏蔽電極平行設(shè)置的金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的電子屏蔽電極(2);
離子屏蔽電極(1)和電子屏蔽電極(2)兩者構(gòu)成第一級(jí)離子屏蔽,電子屏蔽電極(2)與真空室器壁(3)之間構(gòu)成第二級(jí)電子屏蔽;
兩個(gè)絕緣支柱(7和6)分別設(shè)置于離子屏蔽電極(1)和電子屏蔽電極(2)以及電子屏蔽電極(2)與真空室器壁(3)之間,使三者相互絕緣;
一個(gè)儀器安裝接口(5)設(shè)置于電子屏蔽電極(2)外側(cè),用于與真空室電離真空規(guī)管接口(4)對(duì)接;
在離子屏蔽電極(1)和電子屏蔽電極(2)之間施加電壓V1,在電子屏蔽電極(2)與真空室器壁(3)之間施加電壓V2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助儀器,其特征在于所述第二級(jí)電子屏蔽的空間距離L2為第一級(jí)離子屏蔽的空間距離L1的1.5-3倍;所述離子屏蔽電極(1)和電子屏蔽電極(2)的尺寸D1為真空室電離真空規(guī)管接口尺寸D2的2-4倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助儀器,其特征在于所述第一級(jí)離子屏蔽的電壓V1為30-80伏特,第二級(jí)電子屏蔽的屏蔽電壓V2為45-200伏特,是第一級(jí)屏蔽電壓的1.5-2.5倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助儀器,其特征在于離子屏蔽電極(1)和電子屏蔽電極(2)的金屬網(wǎng)的規(guī)格為40-60目。
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G01L21-00 真空計(jì)
G01L21-02 .具有壓縮待測(cè)氣體的壓縮室的
G01L21-08 .通過(guò)測(cè)量在介質(zhì)中傳播的聲波變化而測(cè)出介質(zhì)壓力的
G01L21-10 .通過(guò)測(cè)量介質(zhì)熱導(dǎo)率的變化而測(cè)出介質(zhì)壓力的
G01L21-16 .通過(guò)測(cè)量氣體摩擦阻力變化的
G01L21-26 .利用輻射作用的,即利用由較熱構(gòu)件進(jìn)入到較冷構(gòu)件的分子動(dòng)量引起的壓力的作用的;孔德森
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