[實用新型]一種晶盒倉儲柜

有效

• 申請號: 200720071931.6
• 申請日: 2007-06-29
• 公開（公告）號: CN201069656Y
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發明（設計）人: 李雨庭
• 申請（專利權）人: 李雨庭
• 主分類號: G11B33/06
• 分類號: G11B33/06;G11B33/04
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型涉及一種倉儲裝置，特別涉及一種具有活動擱架的晶盒倉儲柜。

背景技術

隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用于放置晶圓的前開式晶盒(FOUP)及其零配件的尺寸也越來越大，使得晶盒的重量不斷增加，一個載滿晶圓的FOUP的重量約為9.8Kg。如果這些物料都是自動作業的話，那么這種尺寸及重量的增加可能不會引起任何重大的人體生物工程風險。對于某些存放準備累積足夠批量進入工藝設備的晶圓或擋片晶圓的晶盒，一般存放在潔凈室內的人工倉儲柜上。使用時，再將晶盒搬出，由手推運輸車(cart)或其他搬運裝置搬運至需要的工藝生產區。但是，全自動化作業是不能完全實現的，因此不可避免地還是存在人工搬運的情況，隨著越來越多的芯片制造商往亞洲轉移，而多數作業人員為女性，FOUP的尺寸及重量的影響變得更為明顯。

從人體生物工程學的角度而言，搬運重物時最理想的搬運高度應當在人的腰部上下。而隨著現行潔凈室的運行成本及工作效率的提高，將存放FOUP的倉儲柜的擱架高度設在作業人員腰部這樣一個單一高度是不實際的，這樣會大大降低倉儲容量。因此，晶圓制造廠中采用具有多層固定式擱架的倉儲柜來進行晶盒的存取，通常，一個倉儲柜可分三層，每層放置數個前開式晶盒。作業人員需要重復由低到高或由高到低放置前開式晶盒的動作，如果不能遵從正確的舉放技巧的話，會導致作業人員背部及腰部的持續性慢性疼痛，從而嚴重影響員工的身心健康。

有鑒于此，需要提供一種符合人體生物工程學原理的晶圓存儲裝置。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題是提供一種具有自動升降擱架的晶盒倉儲柜，以使作業人員在存取晶盒時，其作業高度可保持在符合人體工程學的最佳位置。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶盒倉儲柜，包括正前方開有作業窗口的柜體和設置于柜體內的數層擱架，其中，所述的晶盒倉儲柜還包括一擱架導軌和一驅動裝置，所述的數層擱架在驅動裝置的驅動下沿擱架導軌在豎直方向上作升降運動。

所述的驅動裝置包括：搖桿，由搖桿帶動的滑輪連動組，以及在滑輪連動組的驅動下可繞其軸心轉動的凸輪軸，所述凸輪軸的外周具有數個凹槽。

進一步地，所述擱架的底部通過一杠桿連接至一定滑輪，所述定滑輪的軸心與凸輪軸的軸心在同一豎直線上，且所述的定滑輪可以嵌入凸輪軸外周的凹槽中。

進一步地，凸輪軸外周的數個凹槽的底部到軸心的距離成等差數列，其公差等于相鄰兩層擱架的間距。

進一步地，所述柜體的頂部還設有滑輪，其上跨有滑輪繩，所述滑輪繩的一端固定至擱架，另一端連接一減力重錘。

所述的驅動裝置也可以包括：可正、反轉的馬達；設置于柜體頂部的滑輪；跨設在滑輪上的滑輪繩，其一端纏繞在馬達上，另一端連接至擱架；用于控制馬達轉向的控制按鈕；以及一升降定位裝置。

進一步地，所述的升降定位裝置包括設置于擱架導軌兩端的上位開關和下位開關，設置于擱架導軌上的數塊定位擋板，以及固定在擱架上的定位開關。

進一步地，所述每個開關上還具有一觸點，當上位開關的觸點觸碰到上層擱架時，或者當下位開關的觸點觸碰到下層擱架時，或者當定位開關的觸點觸碰到任一塊定位擋板時，所述馬達停止工作。

進一步地，相鄰兩塊定位擋板的間距等于相鄰兩層擱架的間距。

進一步地，所述馬達通過一繼電器線圈依次電連接至所述控制按鈕和定位開關，所述上/下位開關與一自保接點串聯后并接在控制按鈕的兩端。

與傳統的固定式擱架倉儲柜相比，本實用新型的晶盒倉儲柜為擱架自動升降式倉儲柜，通過驅動裝置控制擱架的上下移動，可使待存取作業的晶盒總保持在最佳的作業位置，從而有效解決了傳統固定式倉儲柜作業時，作業人員需頻繁掂腳起身或彎腰存取不在腰部高度范圍內的晶盒的問題。

附圖說明

本實用新型的晶盒倉儲柜由以下的實施例及附圖給出。

圖1是本實用新型的晶盒倉儲柜的工作原理圖。

圖2是一種驅動裝置的結構示意圖。

圖3是圖2所示的凸輪軸的主視圖。

圖4是另一種驅動裝置的結構示意圖。

圖5是圖4所示的驅動裝置的控制電路圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的晶盒倉儲柜作進一步的詳細描述。