[實(shí)用新型]晶圓支架

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720067625.5
• 申請(qǐng)日: 2007-03-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201024212Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾玉帆;郭曉清;邊逸軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/50
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/50;H01L21/687
• 代理公司: 上海智信專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制程中使用的裝置，尤其涉及一個(gè)晶圓支架。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的物理氣相沉積的制程中涉及沉積鋁(Al)的子制程，通常是將晶圓通過(guò)機(jī)械手臂傳送至鋁反應(yīng)腔內(nèi)，機(jī)械手臂將晶圓放入反應(yīng)腔的晶圓支架上，然后晶圓支架升高使鎖緊環(huán)卡扣在晶圓四周的晶圓支架上。該鎖緊環(huán)可以在鋁反應(yīng)腔內(nèi)進(jìn)行沉積鋁的過(guò)程中，鋁不會(huì)濺射到晶圓支架上，只需定期將鎖緊環(huán)取出來(lái)清洗或者更換即可。

請(qǐng)參閱圖1，現(xiàn)有技術(shù)中晶圓支架1，該支架底座呈環(huán)狀，支架上設(shè)置的四個(gè)支柱12，支柱12上半部分的截面為梯形以形成支柱槽，該支柱槽可以用于承載晶圓。然而，在長(zhǎng)期使用過(guò)程中，機(jī)械手臂的精度會(huì)發(fā)生偏差，導(dǎo)致晶圓并不能平放入支柱槽內(nèi)。當(dāng)晶圓支架1升高與鎖緊環(huán)卡扣后，晶圓與鎖緊環(huán)之間的間距就不是等距的，在隨后沉積鋁的過(guò)程中，鋁由于其熱溶性會(huì)使晶圓和鎖緊環(huán)較小間距的之間的空隙粘合在一起，當(dāng)該子制程結(jié)束后，晶圓不能取出或在取出晶圓的過(guò)程中造成晶圓的破片。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種改進(jìn)的晶圓支架，其可以防止晶圓由于放入位置偏差而不能平放在晶圓支架中間。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓支架，用于承載晶圓，該晶圓支架包括底座和垂直設(shè)置在底座上的四根支柱，每個(gè)支柱的上段設(shè)有支柱槽；其中，支柱槽表面和支柱上表面的連接段設(shè)置為坡面。

所述坡面為晶圓平放在晶圓支架的中心位置時(shí)，晶圓邊緣位置和支柱上表面的連接段。

所述坡面為一斜形的坡面。

所述坡面為一弧形的坡面。

所述弧形的坡面朝向晶圓支架中心凹陷。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型支柱槽表面和支柱上表面的連接段設(shè)置為坡面可以導(dǎo)引晶圓傾斜的邊緣，而且坡面的摩擦系數(shù)較低，便于晶圓順坡面緩慢下落，從而可以有效防止晶圓在支柱槽內(nèi)傾斜。

附圖說(shuō)明

通過(guò)以下對(duì)本實(shí)用新型一實(shí)施例結(jié)合其附圖的描述，可以進(jìn)一步理解其實(shí)用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。其中，附圖為：

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中晶圓支架的剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明中晶圓支架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明中晶圓支架的剖面示意圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)用新型的晶圓支架包括底座11和垂直設(shè)置在底座11上的四根支柱12。每個(gè)支柱12的上段設(shè)有支柱槽121。支柱槽121表面和支柱12上表面的連接段為弧形的坡面123。所述弧形的坡面123朝向晶圓支架中心凹陷。

在本發(fā)明其他實(shí)施例中，坡面123也可以設(shè)置為斜形的坡面。

在本發(fā)明其他實(shí)施例中，坡面123也可以定義為晶圓3平放在晶圓支架的中心位置時(shí)晶圓3邊緣位置和支柱12上表面的連接段。

請(qǐng)參閱圖3，當(dāng)機(jī)械手臂將晶圓3放入晶圓支架的時(shí)候，即便機(jī)械手臂放置的晶圓3發(fā)生傾斜，晶圓3向上傾斜的邊緣也會(huì)由于坡面123的導(dǎo)引以及其較低的摩擦系數(shù)而順勢(shì)緩慢下落，從而使晶圓3最終可以平置在四個(gè)支柱槽121內(nèi)。

當(dāng)晶圓支架升起與鎖緊環(huán)(未圖示)卡扣后，晶圓3和鎖緊環(huán)之間的間距是等距的，不會(huì)在沉積鋁的過(guò)程中發(fā)生晶圓3與鎖緊環(huán)粘合在一起的現(xiàn)象。