[實用新型]雙材料微梁光學讀出溫度傳感器

無效

• 申請號: 200720035165.8
• 申請日: 2007-03-20
• 公開（公告）號: CN201025457Y
• 公開（公告）日: 2008-02-20
• 發明（設計）人: 張青川;李凱;伍小平
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G01K5/48
• 分類號: G01K5/48
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司
• 代理人: 何梅生

1.雙材料微梁光學讀出溫度傳感器，其特征是設置雙材料微梁單元(3)于感溫頭(4)內，光源(1)以其投射光束直接投射在微梁反光板上；對應于來自微梁單元(3)中微梁反光板上的反射光束，設置反射光束光學接收器(5)，所述光學接收器(5)以微梁熱變形引起的反射光偏轉位置為檢測信號。

2.根據權利要求1所述的雙材料微梁光學讀出溫度傳感器，其特征是所述感溫頭(4)由熱良導體外殼和充滿熱良導液體的密閉室構成，密閉室的頂蓋為可見光透光窗(2)，雙材料微梁單元(3)浸沒于密閉室內的熱良導液體中。

3.根據權利要求1所述的雙材料微梁光學讀出溫度傳感器，其特征是所述光學接收器(5)采用位移傳感器(PSD)或采用一維線陣電荷耦合器件(CCD)。

4.根據權利要求1所述的雙材料微梁光學讀出溫度傳感器，其特征是所述的半球狀感溫頭(4)的半徑為1～10mm，微梁單元(3)的熱變形腿厚度為0.3～3μm，長度為50～1000μm。

5.根據權利要求4所述的雙材料微梁光學讀出溫度傳感器，其特征是所述微梁單元(3)的熱變形腿是Au層和SiNx層的復合薄膜，復合薄膜中Au層和SiNx層的厚度比為0.75，或為0.02，長度為200μm或為800μm。

6.根據權利要求1所述的雙材料微梁光學讀出溫度傳感器，其特征是所述光源(1)采用聚焦激光束。