[發明專利]導電氧化物陶瓷濺射靶材的熱壓制備方法無效
| 申請號： | 200710304076.3 | 申請日： | 2007-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN101209927A | 公開（公告）日： | 2008-07-02 |
| 發明（設計）人： | 王星明;儲茂友;鄧世斌;韓滄;段華英;孫靜 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院 |
| 主分類號： | C04B35/645 | 分類號： | C04B35/645;C04B35/63;C04B35/01 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 | 代理人： | 朱琨 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導電 氧化物 陶瓷 濺射 熱壓 制備 方法 | ||
1.一種導電氧化物陶瓷濺射靶材的熱壓制備方法，其特征在于，在金屬氧化物粉體原料中加入所述金屬氧化物對應的金屬粉并與之充分混合，或在靶材的制備過程中向保護氣氛中充入H2氣。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法通過對粉體原料中金屬粉加入量或保護氣氛中H2的流量比例的控制，可以控制成型靶材的電阻率。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法的一種方案包括如下步驟：
1)稱取制作靶材的金屬氧化物粉體原料和與之相應的金屬粉；
2)將上述兩種粉體用球磨的方法混合；
3)選用高強石墨模具，采用振動漏斗法裝料，測量并保證模具內粉體堆積高度均勻；
4)將模具放進上加壓的分體式熱壓爐中，準備熱壓；
5)熱壓并采取保護氣氛，在溫度950℃～1100℃、壓力15～40MPa環境下保溫保壓40min，直至靶材相對密度達到設計值；
6)采用附加保壓工藝保壓：維持原溫度壓力不變，恒溫恒壓下繼續保溫15～30min后，卸壓。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法的另一種方案包括如下步驟：
1)稱取制作靶材的粉體原料；
2)選用高強石墨模具，采用振動漏斗法裝料，測量并保證模具內粉體堆積高度均勻；
3)將模具放進上加壓的分體式熱壓爐中，準備熱壓；
4)熱壓并采取保護氣氛，并在保護氣氛中注入H2，在溫度950℃～1100℃、壓力15～40MPa環境下保溫保壓40min，直至靶材相對密度達到設計值；
5)采用附加保壓工藝保壓：維持原溫度壓力不變，恒溫恒壓下繼續保溫15～30min后，卸壓。
5.根據權利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述保護氣氛為真空或充入保護性氣體，所述保護性氣體為氮氣或氬氣類惰性氣體。
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