[發(fā)明專(zhuān)利]影像感測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710201212.6
• 申請(qǐng)日: 2007-07-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101359673A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張仁淙
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種影像感測(cè)器。

背景技術(shù)

隨著光電技術(shù)的飛速發(fā)展，影像感測(cè)器因可于空間檢測(cè)圖像并將光學(xué)影 像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，被廣泛應(yīng)用于各種光電產(chǎn)品，如醫(yī)療器械、數(shù)字相機(jī)、數(shù) 字?jǐn)z影機(jī)等，是關(guān)健零組件之一。隨著人們對(duì)數(shù)字產(chǎn)品成像質(zhì)量的要求提高， 有效提高影像感測(cè)器的成像品質(zhì)是業(yè)界所研究一重點(diǎn)。

典型的影像感測(cè)器使用光電二極管來(lái)完成光電效應(yīng)，也就是由光子產(chǎn)生 對(duì)應(yīng)的感應(yīng)電流或是感應(yīng)電壓后，經(jīng)由電荷移動(dòng)或是場(chǎng)效應(yīng)管放大器來(lái)完成 對(duì)應(yīng)的光感應(yīng)電壓放大效果。但是穿透過(guò)光電二極管的光通常僅有一部分會(huì) 與光電二極管所形成的感光區(qū)域產(chǎn)生光電效應(yīng)，所以通常無(wú)法進(jìn)行低光通量 的感測(cè)。對(duì)于陣列式的影像感測(cè)器，如電荷耦合組件(Charge?Coupled?Device， CCD)或互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(Complementary?Metal?Oxide?Semiconductor， CMOS)影像感測(cè)器，由于沒(méi)有外部放大電路，通常必須藉由其他的方式來(lái)完 成光通量的增強(qiáng)和放大效果。

Deguchi，M發(fā)表在1992年8月的《Consumer?Electronics》上的一篇名 為《Microlens?design?using?simulation?program?for?CCD?image?sensor》文章中， 揭示了一種方法，是在影像感測(cè)器的像素陣列中，增加復(fù)數(shù)個(gè)微透鏡，用以 將光線會(huì)聚至每一感光單元上，增加光通量，以此提高影像感測(cè)器的感光能 力。如圖2所示，現(xiàn)有技術(shù)的一種影像感測(cè)器200包括數(shù)個(gè)像素單元，每一 像素單元具有一感光單元210，用于接收入射至該感光單元210上的光線， 及復(fù)數(shù)個(gè)微透鏡220，對(duì)應(yīng)設(shè)置于每一感光單元210上方。該方法可使從各 角度入射的光會(huì)聚于影像感測(cè)器上，從而提高產(chǎn)生光電效應(yīng)的光子數(shù)量，因 此，可提高影像感測(cè)器的光通量及光感測(cè)能力。但是，為了能夠感測(cè)到更多 的光，感光單元210不能做得太小，因?yàn)槠涿娣e會(huì)直接影響到感測(cè)到的光量， 進(jìn)而影響到發(fā)生光電效應(yīng)的光子數(shù)量。因此，如何在不改變感光單元210的 大小的同時(shí)，又可以提高光通量的大小，成為業(yè)界研究的一個(gè)重點(diǎn)。

因此，有必要提供一種光感測(cè)能力較佳，感光單元尺寸較小的影像感測(cè) 器。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，提供一種光感測(cè)能力較佳，感光單元尺寸較小的影像感測(cè)器 實(shí)為必要。

本發(fā)明提供一種影像感測(cè)器，其包括形成于第一基板上的數(shù)個(gè)光感測(cè)單 元及數(shù)個(gè)微透鏡，所述各微透鏡對(duì)應(yīng)于各光感測(cè)單元設(shè)置。所述第一基板的 厚度小于10um，所述影像感測(cè)器還包括一具有數(shù)個(gè)凹形反射面的玻璃板， 所述具有數(shù)個(gè)凹形反射面的玻璃板與所述數(shù)個(gè)微透鏡分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于所述 數(shù)個(gè)光感測(cè)單元的兩側(cè)，所述各凹形反射面之設(shè)置使得經(jīng)由對(duì)應(yīng)的光感測(cè)單 元透過(guò)的光反射回該光感測(cè)單元。

本發(fā)明所提供的影像感測(cè)器具有的凹形反射面可將經(jīng)由光感測(cè)單元透 過(guò)的光再次反射回光感測(cè)單元上，由此，可使第一次經(jīng)過(guò)光感測(cè)單元沒(méi)有發(fā) 生光電效應(yīng)的光子再一次照射到光感測(cè)單元上，從而發(fā)生光電效應(yīng)。因此， 影像感測(cè)器的光通量得到提高，光感測(cè)能力提升。

并且，由于光的利用效率較高，且，僅有部分感光區(qū)域參與光電效應(yīng)， 因此，可將此光感測(cè)單元的尺寸做得更小，而不必?fù)?dān)心其光感測(cè)能力降低， 從而可以節(jié)約制造成本。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的影像感測(cè)器具有如下優(yōu)點(diǎn)：提升了影像 感測(cè)器的光感測(cè)能力，由此，提升了影像感測(cè)器的成像品質(zhì)；另一方面，在 保證光感測(cè)能力不變的情況下，可以將光感測(cè)單元的尺寸做得更小，由此可 達(dá)到節(jié)約成本的目的。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例提供的影像感測(cè)器的示意圖。

圖2是現(xiàn)有技術(shù)的影像感測(cè)器的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供的影像感測(cè)器100包括形成于第一基板 110上的數(shù)個(gè)光感測(cè)單元120及數(shù)個(gè)微透鏡130。所述影像感測(cè)器100進(jìn)一 步包括一第二基板140，所述第二基板140上形成有數(shù)個(gè)凹形反射面150。 在本實(shí)施例中，所述第一基板110和所述第二基板140的材料均為硅。