[發明專利]升降銷驅動裝置以及具有該裝置的制造設備

有效

• 申請號: 200710181232.1
• 申請日: 2007-10-25
• 公開（公告）號: CN101202239A
• 公開（公告）日: 2008-06-18
• 發明（設計）人: 金鐘仙;李昌根;鄭元基
• 申請（專利權）人: 愛德牌工程有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/677;H01L21/67;G02F1/1333;H01J9/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蔡洪貴

1.一種升降銷驅動裝置，包括：

構造成將基板接收在其上的支撐單元；

位于基板下方的銷板；

從銷板向上延伸從而穿過支撐單元上的對應多個孔的多個升降銷；

驅動單元，所述驅動單元構造成向上或向下移動銷板以及固定在銷板上的多個升降銷，從而移動位于其上的基板，所述驅動單元包括驅動電動機、和通過動力傳動單元可操作地連接到驅動電動機的多個帶輪；以及

構造成控制動力傳動單元的張力的張緊器。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述張緊器包括：

固定支架；

可滑動地連接到固定支架上的可動支架；

引導單元，所述引導單元設置在所述固定支架上，以引導所述可動支架相對所述固定支架的直線移動；

張緊輥，所述張緊輥可旋轉地連接到所述可動支架上、并且定位成保持與動力傳動單元的滾動接觸；以及

張力控制單元，所述張力控制單元構造成控制所述可動支架相對所述固定支架的直線移動，從而調節動力傳動單元的張力。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述引導單元約束所述可動支架的移動，使得所述可動支架的移動被限制為沿所述可動支架的縱向相對所述固定支架的滑動直線移動。

4.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述固定支架包括從垂直部分延伸的水平部分，并且所述引導單元包括設置在所述固定支架的水平部分相反側表面上的刻度尺。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述引導單元包括設置在所述固定支架的水平部分的下表面上的引導凹部，并且引導凹部構造成將所述可動支架可滑動地連接到所述固定支架上。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述引導凹部包括：

第一引導部分，所述第一引導部分具有從固定支架水平部分向下延伸的相對垂直側面；以及

第二引導部分，所述第二引導部分具有從第一引導部分的相對垂直側面的相應最下端向外延伸的相對水平側面、以及從其相應水平側面的末端向下延伸的相對垂直側面，使得第二引導部分的寬度大于第一引導部分的寬度，其中第二引導部分構造成可滑動地接收所述可動支架的上端。

7.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，引導凹部包括：

第一引導部分，所述第一引導部分具有從所述固定支架的水平部分向下延伸的相對垂直側面、以及從其相對垂直側面的相應最下端向內延伸的相對水平側面；以及

第二引導部分，所述第二引導部分具有從第一引導部分相對水平側面的相應末端向下延伸的相對垂直側面，使第二引導部分的寬度小于第一引導部分的寬度，其中第一引導部分構造成可滑動地接收所述可動支架的上端。

8.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述引導凹部包括第一和第二引導部分，第一和第二引導部分設置在所述固定支架水平部分的相對側，使第一和第二引導部分之間具有間隙，并且第一和第二引導部分分別包括沿其垂直側面水平延伸的縱向槽，使得第一和第二引導部分的縱向槽彼此面對，并且所述縱向槽構造成可滑動地接收所述可動支架的相應邊緣，以便可滑動地將所述可動支架連接到所述固定支架上。

9.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述可動支架包括：

上水平部分；

下水平部分；以及

從上水平部分的后邊緣延伸到下水平部分的對應后邊緣的垂直部分，所述垂直部分，其中張緊輥的第一端可旋轉地連接到所述上水平部分，張緊輥的第二端可旋轉地連接到所述下水平部分。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，張力控制單元包括：

調節螺釘，其構造成螺紋嚙合地穿過所述固定支架的垂直部分中的對應孔，并且調節螺釘的遠端構造成接觸所述可動支架的垂直部分并對所述可動支架的垂直部分施加作用力，以使所述可動支架在所述固定支架的引導單元內滑動；以及

至少一個引導桿，其構造成穿過所述固定支架的垂直部分中對應的至少一個引導孔，并且所述至少一個引導桿的遠端構造成接觸所述可動支架的垂直部分、并且支撐和引導所述可動支架相對所述固定支架的移動。