[發明專利]綠色二氧化碳超流體半導體清洗設備

無效

• 申請號: 200710178774.3
• 申請日: 2007-12-05
• 公開（公告）號: CN101452820A
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發明（設計）人: 高超群;劉茂哲;羅小光;李全寶;景玉鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1、一種綠色二氧化碳超流體半導體清洗設備，其特征在于，該設備包括主工作腔(1)、分離腔(3)、清洗劑及助溶劑暫存腔(4)、溫度控制系統(7)和二氧化碳循環控制系統(8)，其中，

所述主工作腔(1)，用于半導體晶片的超流體清洗和干燥，固定在支座(6)上，該主工作腔底部安裝有溫度控制系統(7)的溫度傳感器(106)和壓力傳感器(107)，腔室內部的溫度受溫度控制系統(7)的控制；

分離腔(3)，用于二氧化碳與清洗廢液的分離，固定在支座(6)上，通過帶電磁閥(105)的管道(104)與主工作腔(1)相連，通過分離腔排氣管道(9)和二氧化碳循環控制系統(8)相連；

清洗劑及助溶劑暫存腔(4)，用于存放輔助清洗的有機溶劑，通過帶電磁閥(403)的管道(402)與主工作腔(1)的二氧化碳入口管道(103)相連；

溫度控制系統(7)，用于對主工作腔(1)腔室內部的溫度進行控制；

二氧化碳循環控制系統(8)，用于實現整套設備的二氧化碳循環控制工作，固定在支座(6)上，由液體二氧化碳儲氣罐和壓縮機構成，對二氧化碳進行壓縮、散熱和存儲，同時完成主工作腔(1)的制冷任務。

2、根據權利要求1所述的綠色二氧化碳超流體半導體清洗設備，其特征在于，所述主工作腔(1)的內部有盛放晶片的硅片架(2)，外部由用于制冷的換熱盤管(5)環繞，底部有加熱絲。

3、根據權利要求1所述的綠色二氧化碳超流體半導體清洗設備，其特征在于，所述主工作腔(1)上部設置有高壓密封蓋(101)，保證主工作腔(1)具有良好的密閉性能。

4、根據權利要求1所述的綠色二氧化碳超流體半導體清洗設備，其特征在于，所述二氧化碳循環控制系統(8)中的液體二氧化碳分別在清洗工作回路和制冷工作回路中流動；

所述清洗工作回路自二氧化碳循環控制系統(8)的二氧化碳儲氣罐開始，經由主工作腔進液管(103)、主工作腔(1)、主工作腔排液管(104)、分離腔(3)、分離腔排氣管(9)、二氧化碳循環控制系統(8)的壓縮機回到二氧化碳循環控制系統(8)的儲氣罐；

所述制冷工作回路自二氧化碳循環控制系統(8)的二氧化碳儲氣罐開始，經由換熱器盤管(5)和二氧化碳循環控制系統(8)的壓縮機后回到二氧化碳循環控制系統(8)的儲氣罐。