[發(fā)明專利]分割脆性材料的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710169145.4
• 申請(qǐng)日: 2007-11-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101255004A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小關(guān)良治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 澀谷工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B33/09
• 分類號(hào): C03B33/09
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 何騰云

1、一種分割脆性材料方法，包括：工作頭，該工作頭相對(duì)于脆性材料移動(dòng)；槽形成機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在工作頭上并且沿脆性材料的預(yù)定分割線在脆性材料上形成微小連續(xù)的槽；分割機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在工作頭上，并且隨著槽形成機(jī)構(gòu)移動(dòng)、通過(guò)用激光束照射脆性材料而使裂縫從微小槽擴(kuò)展；檢測(cè)裝置，其設(shè)置在工作頭上并且檢測(cè)預(yù)定分割線的部位是否被分割；以及存儲(chǔ)裝置，它存儲(chǔ)由檢測(cè)裝置檢測(cè)到的未分割部分的位置，

工作頭相對(duì)于脆性材料從預(yù)定分割線的一端移動(dòng)到另一端，于是通過(guò)槽形成機(jī)構(gòu)沿預(yù)定分割線形成連續(xù)的微小槽，然后，利用分割機(jī)構(gòu)使裂縫從微小槽擴(kuò)展來(lái)進(jìn)行分割，分割部分被檢測(cè)裝置檢測(cè)，而被檢測(cè)裝置檢測(cè)到的未分割部分的位置通過(guò)存儲(chǔ)裝置被存儲(chǔ)，當(dāng)檢測(cè)到未分割部分時(shí)，工作頭沿未分割部分移動(dòng)，不通過(guò)槽形成機(jī)構(gòu)形成槽，而利用分割機(jī)構(gòu)按照預(yù)定分割線、用激光束照射脆性材料使脆性材料被精確分割。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的分割脆性材料方法，其特征在于，檢測(cè)裝置包括向脆性材料照射檢測(cè)光的檢測(cè)光照射裝置和光接收裝置，當(dāng)從檢測(cè)光照射裝置向脆性材料發(fā)出的檢測(cè)光被脆性材料的分割表面反射時(shí)，該光接收裝置接收反射光，并且檢測(cè)光照射裝置和光接收裝置被設(shè)置在脆性材料的前表面?zhèn)纫詸z測(cè)未分割部分。

3、一種分割脆性材料的裝置，包括：槽形成機(jī)構(gòu)，它在脆性材料上沿脆性材料的預(yù)定分割線形成微小連續(xù)的槽；以及分割機(jī)構(gòu)，隨著槽形成機(jī)構(gòu)移動(dòng)、通過(guò)用激光束照射脆性材料而使裂縫從微小槽擴(kuò)展，其特征在于，所述裝置還包括檢測(cè)裝置，它檢測(cè)預(yù)定分割線的部位是否被分割，該檢測(cè)裝置包括向脆性材料照射檢測(cè)光的檢測(cè)光照射裝置和光接收裝置，當(dāng)從檢測(cè)光照射裝置向脆性材料發(fā)出的檢測(cè)光被脆性材料的分割表面反射時(shí)，該光接收裝置接收反射光，并且檢測(cè)光照射裝置和光接收裝置被設(shè)置成在脆性材料的前表面?zhèn)认鄬?duì)于分割表面平行地移動(dòng)。

4、一種分割脆性材料的裝置，包括：槽形成機(jī)構(gòu)，它在脆性材料上沿脆性材料的預(yù)定分割線形成微小連續(xù)的槽；以及分割機(jī)構(gòu)，隨著槽形成機(jī)構(gòu)移動(dòng)、通過(guò)用激光束照射脆性材料而使裂縫從微小槽擴(kuò)展，其特征在于，所述裝置還包括檢測(cè)裝置，它檢測(cè)預(yù)定分割線的部位是否被分割，該檢測(cè)裝置包括向脆性材料照射檢測(cè)光的檢測(cè)光照射裝置和光接收裝置，當(dāng)從檢測(cè)光照射裝置向脆性材料發(fā)出的檢測(cè)光被脆性材料內(nèi)部的背表面反射時(shí)，該光接收裝置接收反射光，檢測(cè)光照射裝置和光接收裝置被設(shè)置成能在脆性材料的前表面?zhèn)认鄬?duì)于分割表面平行地移動(dòng)，并且當(dāng)即使檢測(cè)光從檢測(cè)光照射裝置被照射到脆性材料上而光接收裝置沒(méi)有接收到反射光時(shí)，檢測(cè)裝置判斷已形成分割表面。

5、根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分割脆性材料的裝置，其特征在于，能夠相對(duì)于脆性材料移動(dòng)的工作頭具有槽形成機(jī)構(gòu)和分割機(jī)構(gòu)，所述裝置包括移動(dòng)工作頭的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、還包括控制裝置，該控制裝置控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作并且具有存儲(chǔ)由檢測(cè)裝置檢測(cè)到的未分割部分的位置的存儲(chǔ)裝置，工作頭相對(duì)于脆性材料從預(yù)定分割線的一端移到它的另一端，由此沿預(yù)定分割線形成連續(xù)的微小槽，然后，利用分割機(jī)構(gòu)使裂縫從微小槽擴(kuò)展而進(jìn)行分割，分割部分被檢測(cè)裝置檢測(cè)，而被檢測(cè)裝置檢測(cè)到的未分割部分的位置通過(guò)存儲(chǔ)裝置被存儲(chǔ)，并且當(dāng)未分割部分被檢測(cè)裝置檢測(cè)到時(shí)，工作頭沿未分割部分移動(dòng)，利用分割機(jī)構(gòu)、通過(guò)用激光束照射脆性材料，沒(méi)有通過(guò)槽形成機(jī)構(gòu)形成槽地按照預(yù)定分割線精確地分割脆性材料。