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[實用新型]一種旋轉式有機材料蒸發裝置有效

專利信息
申請號: 201620247175.7 申請日: 2016-03-29
公開(公告)號: CN205529004U 公開(公告)日: 2016-08-31
發明(設計)人: 廖良生;董首成;武啟飛 申請(專利權)人: 蘇州方昇光電裝備技術有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24;C23C14/12
代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 代理人: 陸明耀;陳忠輝
地址: 215000 江蘇省蘇州*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 旋轉 有機 材料 蒸發 裝置
【說明書】:
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2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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