[發(fā)明專利]膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710149102.X
• 申請日: 2007-09-03
• 公開（公告）號: CN101382442A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賴云龍
• 申請（專利權(quán)）人: 賴云龍
• 主分類號: G01D5/347
• 分類號: G01D5/347;G01B3/04
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 何春蘭

1.一種膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其使用透光性90％以上的膠質(zhì)板片為基材，首先是在膠質(zhì)板片的表面上蒸鍍上一層鉻鋁質(zhì)薄膜；再在鉻鋁質(zhì)薄膜上涂覆上光阻劑，而形成一層光阻膜；然后將經(jīng)光繪機(jī)繪好的碼盤/碼尺的光柵圖案的菲林母版，覆蓋在膠質(zhì)板片的光阻膜上；再進(jìn)行以平行光的曝光照射光阻膜使之感光，照射完成后，取下菲林母版；然后，以洗除液洗去膠質(zhì)板片上未感光部份的光阻膜；然后，再以刻蝕液對膠質(zhì)板片及其上的鉻鋁質(zhì)薄膜進(jìn)行浸滯刻蝕；刻蝕完成后，再以洗除液洗去感光部份的光阻膜；至此，即令膠質(zhì)板片上形成具有一個以上的碼盤/碼尺的光柵圖案的刻制完成；然后，將膠質(zhì)板片置于光學(xué)沖壓機(jī)中，作自動對準(zhǔn)位置而沖制出成圓盤狀的碼盤或長條狀的碼尺，以適用于編碼器或光學(xué)尺。

2.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述膠質(zhì)板片為以耐高溫至120℃的聚酯材質(zhì)制成。

3.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述膠質(zhì)板片為以耐高溫至120℃的聚碳酸酯材質(zhì)制成。

4.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述膠質(zhì)板片的厚度小于0.5mm。

5.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述膠質(zhì)板片上的鉻鋁質(zhì)薄膜的厚度為1um以下。

6.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述膠質(zhì)板片上的光阻膜的厚度為1～3um。

7.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述洗除液為堿性溶液。

8.如權(quán)利要求1所述的膠質(zhì)碼盤/碼尺的制作方法，其特征是，所述刻蝕液為硝酸溶液。