[發明專利]微型芯片檢驗裝置有效
| 申請號： | 200710149084.5 | 申請日： | 2007-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN101140219A | 公開（公告）日： | 2008-03-12 |
| 發明（設計）人： | 小川義正;金田和之;壁田勝利 | 申請（專利權）人： | 優志旺電機株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/17 | 分類號： | G01N21/17;G01N33/48;G01N21/03 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 徐殿軍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微型 芯片 檢驗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種微型芯片檢驗裝置，具有：
芯片保持器，設置在測定臺上，由蓋部和箱部構成；
微型芯片，收納在上述芯片保持器中，具有光學測定部；
光源，使光相對于上述微型芯片的光學測定部入射；
檢測器，接收透過上述光學測定部的光；和
控制部，對裝置進行控制，
其特征在于，
在上述芯片保持器中，設置在垂直于上述光學測定部的光軸的兩方向上定位上述微型芯片的基準面、和將上述微型芯片緊貼到上述基準面上的推壓部；
通過將上述芯片保持器的上述蓋部關閉，而將上述微型芯片在上述芯片保持器內定位。
2.如權利要求1所述的微型芯片檢驗裝置，其特征在于，在上述芯片保持器的蓋部和箱部上設有凹部和凸部，借助上述凸部與上述凹部的嵌合關系，蓋部與箱部卡合及脫離。
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