[發明專利]工廠自動化系統以及相關方法

有效

• 申請號: 200710142783.7
• 申請日: 2007-08-23
• 公開（公告）號: CN101281404A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 黃志偉;陳蕙怡;游仁祈;游志源
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 陳晨

1.?一種工廠自動化系統，適用于一晶片制造廠，該晶片制造廠包括多個隔間，其中每一所述隔間包括由一隔間內高架式晶片運輸系統互連的多個制造設備，以及至少一隔間之間高架式晶片運輸系統，用以互連所述隔間內高架式晶片運輸系統，該工廠自動化系統包括：

一制造執行系統，用以提供關于該晶片制造廠內正被處理中的晶片批次信息；

一物料控制系統，用以提供關于該晶片制造廠內的晶片運輸的動態流量信息；

一自動化物料搬運系統，用以提供關于該晶片制造廠內的晶片運輸的靜態路徑信息；以及

一實時派發系統，用以響應一傳送請求，利用該制造執行系統的批次信息、該物料控制系統的動態流量信息以及該自動化物料搬運系統的靜態路徑信息，選取含有多個晶片的一晶片載具的一目的地以及到該選取目的地的一路徑。

2.?如權利要求1所述的工廠自動化系統，其中該實時派發系統根據該選取目的地以及路徑發送多重微指令至該物料控制系統。

3.?如權利要求2所述的工廠自動化系統，其中該實時派發系統包括一組實時派發規則，用以選取該目的地以及該路徑。

4.?如權利要求1所述的工廠自動化系統，其中該制造執行系統的批次信息包括批次優先信息。

5.?如權利要求1所述的工廠自動化系統，其中該制造執行系統的批次信息包括是否該批次為一超級熱批、一正常批或是一控制批的批次。

6.?一種實現一工廠自動化系統的方法，適用于一晶片制造廠，該晶片制造廠包括多個隔間，其中每一所述隔間包括由一隔間內高架式晶片運輸系統互連的多個制造設備，以及至少一隔間之間高架式晶片運輸系統用以互連所述隔間內高架式晶片運輸系統，該方法包括下列步驟：

接收一傳送請求以移動一晶片批次；

由一制造執行系統中得到關于該傳送請求的批次信息；

由一物料控制系統中得到關于該傳送請求的動態流量信息；

由一自動化物料搬運系統中得到關于該傳送請求的靜態流量信息；

利用該批次信息、該動態流量信息以及該靜態流量信息，以選取一目的地以及到該選取目的地的一路徑以完成該傳送請求；以及

利用該選取目的地以及到該選取目的地的該路徑執行該傳送。

7.?如權利要求6所述的方法，還包括根據該選取目的地以及路徑發送連續的多重微指令至該物料控制系統。

8.?如權利要求6所述的方法，其中該動態流量信息大體上包括實時流量數據。

9.?如權利要求6所述的方法，其中該利用批次信息、動態流量信息以及靜態流量信息，以選取目的地以及到選取目的地的路徑的步驟還包括下列步驟：

當該傳送請求有關于一超級熱批或是一正常批的傳送時，安排通過一第一路徑進行該傳送；以及

當該傳送請求有關于一控制晶片批的傳送時，安排通過長于該第一路徑的一第二路徑進行該傳送。

10.?如權利要求6所述的方法，其中該利用批次信息、動態流量信息以及靜態流量信息，以選取目的地以及到選取目的地的路徑的步驟還包括下列步驟：

當該傳送請求有關于傳送一超級熱批或是一正常批至一機臺且在一第一路徑上無流量存在時，安排通過該第一路徑進行該傳送；以及

當該傳送請求有關于該超級熱批或是該正常批的傳送至該機臺且在該第一路徑有流量存在時，安排通過長于該第一路徑的一第二路徑進行該傳送。

11.?如權利要求6所述的方法，其中由該制造執行系統中得到關于該傳送請求的批次信息的步驟還包括得到批次優先信息。

12.?如權利要求6所述的方法，其中該利用批次信息、動態流量信息以及靜態流量信息，以選取目的地以及到選取目的地的路徑的步驟還包括下列步驟：

利用一實時派發系統分析該批次信息、該動態流量信息以及該靜態流量信息，以選取該目的地以及到該選取目的地的該路徑。

13.?如權利要求12所述的方法，其中利用該實時派發系統包括應用一組實時派發規則至該批次信息、該動態流量信息以及該靜態流量信息，以選取該目的地以及到該選取目的地的該路徑。

14.?如權利要求6所述的方法，其中該利用批次信息、動態流量信息以及靜態流量信息，以選取目的地以及到選取目的地的路徑的步驟還包括下列步驟：

當該傳送請求有關于傳送一批次至一機臺時，安排通過一高速路徑進行該傳送；以及

當該傳送請求有關于傳送一批次至一倉儲時，安排通過一低速路徑進行該傳送。