[發明專利]繪制裝置

在審

• 申請號: 200710141983.0
• 申請日: 2007-08-17
• 公開（公告）號: CN101135863A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 豬俁俊德
• 申請（專利權）人: 株式會社ORC制作所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00;H05K3/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

技術領域

本發明是有關于朝成為原版的光罩(photo-mask，reticle)、或直接地朝印刷基板或硅晶圓等的被繪制體形成電路樣式(pattern)等的樣式的繪制裝置。

背景技術

在基板等的制造工程中，對于涂布光阻(photo-resist)等的感光材料的被繪制體，樣式形成用的繪制處理被實行，經過顯像處理、蝕刻或鍍層處理、光阻(resist)剝離等工程，在被繪制體，樣式被形成。在基板，成為記號(mark)、孔等的基準的指針朝所定場所規則地被形成，基板被搭載到繪制桌(table)(繪制臺[stage])時，藉由使繪制桌和照相機移動，基準記號的位置被檢測出。又，基于被檢測出的位置，將繪制樣式朝所定區域形成。

在量測基準記號時，由于必須知道照相機的正確位置，例如，在繪制桌，基準刻度尺(scale)被安裝，使繪制桌移動至所定位置，將基準刻度尺的刻度作為基準，量測基準記號的位置坐標(專利文獻1)。又，基于被量測的基準記號的位置坐標，算出基板的變形量、對準(alignment)誤差，補正繪制位置。

[專利文獻1]日本特開2004-348045號公報

由于基準刻度尺被安裝在繪制桌，必須使量測基準刻度尺的記號、刻度的繪制桌移動至照相機的所定位置(原點位置)為止。因此，起因于繪制桌的驅動機構的，沿著移動方向的位置決定有誤差時，在被量測的位置坐標，桌誤差會產生。又，每次使用基準刻度尺，必須使繪制桌回到所定的原點位置為止，在基板的基準記號位置檢測方面，需花費時間。

發明內容

本發明的繪制裝置可正確地且以短時間地量測設置于基板等的被繪制體的量測用的記號、孔的位置，包括：位置量測用的基準記號被設置的被繪制體被搭載、對于基臺相對地沿著第一掃描方向可移動的繪制桌、以及對于基臺沿著與第一掃描方向正交的第二掃描方向可移動地被安裝、量測基準記號位置的照相機。在此的基準記號包含印、孔等，例如，被形成在基板等的被繪制體的四角。使繪制桌、照相機，例如，分別沿著副掃描方向、主掃描方向(或其相反)被移動般構成即可。

本發明的繪制裝置包括被安裝在基臺、沿著第二掃描方向延伸的基準刻度尺，又，包括：照射量測基準記號位置用的第一照明光的第一光源、照射照明基準刻度尺用的具有和第一照明光不同的波長領域的第二照明光的第二光源、以及導引第一照明光至被繪制體且將其反射光導引至照明機、并將第二照明光導引至基準刻度尺且將其反射光導引至照相機的量測用光學系統。

量測用光學系統選擇第一照明光、第二照明光，分別導引至基準記號、被繪制體。基于包含于設計資料的繪制資料的位置坐標，使照相機沿著第二掃描方向移動的話，在使照相機停止在此場所的狀態下，藉由從第二光源被放射的第二照明光，基準刻度尺成為可量測。又，藉由第一照明光，可直接量測基準記號的位置。基準刻度尺的形狀、構成為任意，例如，使用微細的孔以等間隔規則地排列的刻度尺即可。記號、刻度的間距依據繪制裝置的構成即可，但須考慮移動照相機的驅動機構的驅動誤差，以驅動誤差不超過刻度的間距(pitch)的方式決定間距即可。又，繪制裝置包括：量測基準記號位置的量測裝置、以及基于被量測的基準記號的位置、補正繪制位置的補正裝置。

為了選擇地區分第一照明光、第二照明光，在量測用光學系統，最好設置使第一照明光以及其反射光透過、使第二照明光以及其反射光反射的分光光學系統。例如，在量測用光學系統，設置有使第一和第二照明光朝被繪制體反射、使其反射光直接透過的第一光學系統、以及將第一照明光以及其反射光透過、使第二照明光朝基準刻度尺反射且使其反射光朝照相機反射的第二光學系統。或者，設置有使第一照明光朝被繪制體反射、使其反射光直接透過的第三光學系統、以及將第一照明光以及其反射光透過、使經由基準刻度尺入射的第二照明光朝照相機反射的第四光學系統。作為第一、第三光學系統，例如，棱鏡被設置。作為分光光學系統、第二、第四光學系統，例如，分色鏡(dichroic?mirror)被設置。

作為分光光學系統的構成，例如，可與照相機一體地安裝，量測用光學系統以及照相機對于基準刻度尺相對地移動。或者，沿著基準刻度尺延伸般，安裝在基準刻度尺也可，照相機對于量測用光學系統以及基準刻度尺相對地移動。