[發(fā)明專利]影像調(diào)整方法及影像擷取裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710130600.X
• 申請日: 2007-07-18
• 公開（公告）號: CN101349540A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設計）人: 陳金亮;郭世炫;張中柱
• 申請（專利權）人: 財團法人工業(yè)技術研究院
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/24;G01N21/88
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 湯保平

技術領域

本發(fā)明是有關于一種影像擷取技術，尤其是指一種影像調(diào)整方法及影像擷取裝置。

背景技術

白光干涉系統(tǒng)因干涉架構(gòu)，使系統(tǒng)在物鏡聚焦處所呈現(xiàn)的清晰影像具有干涉條紋，而無法直接進行二維尺寸量測與瑕疵檢測。

為了解決這個問題，現(xiàn)有技術中，如圖1所示的美國專利US.Pat.No.7,068,376所揭露的干涉系統(tǒng)1，其是具有一光源10、一分光單元11、一干涉物鏡單元12以及一成像單元13。該光源10可產(chǎn)生光束并經(jīng)由準直透鏡14以形成一準直光束。該準直光束經(jīng)由該分光單元11反射至干涉物鏡單元12以形成一測物光以及一參考光。該測物光在投射至一待測物100表面后反射回該干涉物鏡單元12并與該參考光合光產(chǎn)生干涉，以形成一干涉光。該干涉光再經(jīng)由該分光單元11而由該成像單元13接收，以形成一干涉條紋影像。

前述的技術中，其利用相移法計算出待測物的三維形貌，同時以相移時所取得的一序列影像進行組合運算，以取出影像中直流的成份，運算所得的影像可消除干涉條紋的影響，并作為二維橫向檢(量)測使用的影像。不過，此方法必須先經(jīng)由相移取像后才可得到無干涉條紋的二維影像，而相移取像的范圍受限，且需花時間進行相移取像后才可得到二維檢測所需的影像。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種影像調(diào)整方法及影像擷取裝置，其不須先經(jīng)由相移取像后才可得到無干涉條紋的二維影像，相移取像的范圍不受限制，系統(tǒng)能獲得清晰的干涉條紋影像，以進行三維形貌量測，且不需花時間進行相移取像后才可得到二維檢測所需的影像，依據(jù)成像關系，可調(diào)整成像單元位置，以獲得干涉同調(diào)區(qū)域外的清晰無干涉條紋的影像，可針對此影像進行二維瑕疵檢測與尺寸量測。

本發(fā)明提供一種影像調(diào)整方法，其特征在于，其包括有下列步驟：

擷取一序列干涉影像；

分別對該序列干涉影像求得一清晰度聚焦指標曲線以及一對比度聚焦指標曲線；

分別尋找該清晰度聚焦指標曲線以及該對比度聚焦指標曲線的峰值；以及

進行一調(diào)校程序調(diào)整該清晰度聚焦指標曲線的峰值與該對比度聚焦指標曲線的峰值間的相對位置，以獲得清晰的該序列干涉影像。

其中該調(diào)校程序還包括有下列步驟：

建立該序列干涉影像成像位置和取像位置間的距離與該清晰度聚焦指標曲線的峰值和該對比度聚焦指標曲線的峰值間的距離的關系；以及

根據(jù)該關系，調(diào)整該序列干涉影像成像位置和取像位置間的距離，使該清晰度聚焦指標曲線的峰值與該對比度聚焦指標曲線的峰值位置一致。

其中該調(diào)校程序還包括有下列步驟：

建立該序列干涉影像成像位置和取像位置間的距離與該清晰度聚焦指標曲線的峰值和該對比度聚焦指標曲線的峰值間的距離的關系；

將該關系建立成一關系表格；以及

根據(jù)該關系表格，調(diào)整該序列干涉影像成像位置和取像位置間的距離，使該清晰度聚焦指標曲線的峰值與該對比度聚焦指標曲線的峰值位置一致。

其中該清晰度聚焦指標曲線為計算影像相鄰像素間內(nèi)涵值差異性的指標，以評價影像清晰的程度。

其中求得該清晰度聚焦指標曲線的法則是為空間頻率分布鑒別法則，該空間頻率分布鑒別法則可選擇為相關系數(shù)法、影像差異法、灰度值峰谷深度法、影像對比法、灰度統(tǒng)計圖法以及頻域法其中之一。

其中該對比度聚焦指標曲線為計算影像像素內(nèi)涵值統(tǒng)計分布的指標，以評價影像對比的程度。

其中求得該對比度聚焦指標曲線的法則是為像素內(nèi)涵值統(tǒng)計分布鑒別法則，該像素內(nèi)涵值統(tǒng)計分布鑒別法則可選擇為相關系數(shù)法、影像差異法、灰度值峰谷深度法、影像對比法、灰度統(tǒng)計圖法以及頻域法其中之一。

本發(fā)明還提供一種影像調(diào)整方法，其特征在于，其包括有下列步驟：

擷取一無干涉條紋影像；

分別對該無干涉條紋影像求得一清晰度聚焦指標曲線以及一對比度聚焦指標曲線；

分別尋找該清晰度聚焦指標曲線以及該對比度聚焦指標曲線的峰值；以及

進行一調(diào)校程序調(diào)整該清晰度聚焦指標曲線的峰值與該對比度聚焦指標曲線的峰值間的相對位置，以獲得清晰的無干涉條紋影像。

其中擷取該無干涉條紋影像的方法是為將該無干涉條紋影像的取像焦點移至取像視野內(nèi)各位置發(fā)生干涉的同調(diào)區(qū)域外。

其中該清晰度聚焦指標曲線為計算影像相鄰像素間內(nèi)涵值差異性的指標，以評價影像清晰的程度。