[發(fā)明專利]進(jìn)氣裝置及反應(yīng)腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710119581.0
• 申請(qǐng)日: 2007-07-26
• 公開（公告）號(hào): CN101355010A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 南建輝;宋巧麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/67;C23C16/455;C23F4/00
• 代理公司: 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 趙鎮(zhèn)勇;姚巍

1.一種進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述的進(jìn)氣裝置為環(huán)狀，內(nèi)部設(shè)有環(huán)形空腔，所述進(jìn)氣裝置的外側(cè)壁上設(shè)有至少一個(gè)與所述環(huán)形空腔相通的進(jìn)氣口；所述進(jìn)氣裝置的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有多組出氣口，所述多組出氣口在所述內(nèi)側(cè)壁上沿環(huán)狀方向均勻分布，每組出氣口包括至少一個(gè)與所述環(huán)形空腔相通的出氣口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述的進(jìn)氣裝置的截面形狀為矩形。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述的每組出氣口包括3個(gè)出氣口，3個(gè)出氣口上下排列布置，其中中間一個(gè)出氣口的方向?yàn)樗椒较颍幌逻呉粋€(gè)出氣口的方向?yàn)樾毕蛳路较颍簧线呉粋€(gè)出氣口的方向?yàn)樾毕蛏戏较颉?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述的進(jìn)氣裝置的截面形狀為梯形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述梯形的上邊寬于下邊，所述的每組出氣口包括3個(gè)出氣口，3個(gè)出氣口上下排列布置，其中上邊一個(gè)出氣口的方向?yàn)樗椒较颍虚g和下邊的出氣口的方向?yàn)樾毕蛳路较颉?/p>

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述下邊一個(gè)出氣口的方向向下傾斜的角度大于中間一個(gè)出氣口向下傾斜的角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述的每組出氣口中，每個(gè)出氣口的方向與水平面之間的夾角為+85度～-85度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的進(jìn)氣裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣裝置由以下至少一種材料制成：金屬、石英、陶瓷、樹脂。

9.一種反應(yīng)腔室，包括側(cè)壁、上蓋，其特征在于，所述的側(cè)壁與上蓋之間設(shè)有權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的進(jìn)氣裝置，所述進(jìn)氣裝置內(nèi)側(cè)壁上的出氣口與反應(yīng)腔室相通；外側(cè)壁上的進(jìn)氣口與外部進(jìn)氣管路連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，所述的進(jìn)氣裝置的截面形狀為梯形，所述梯形的上邊寬于下邊，所述進(jìn)氣裝置的上面與所述上蓋接觸；下面與所述側(cè)壁接觸。