[發(fā)明專利]防護(hù)薄膜組件無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200710110347.1 | 申請日: | 2007-06-13 |
| 公開(公告)號: | CN101089729A | 公開(公告)日: | 2007-12-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 濱田裕一 | 申請(專利權(quán))人: | 信越化學(xué)工業(yè)株式會社 |
| 主分類號: | G03F1/14 | 分類號: | G03F1/14;B29C41/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人: | 張平元;趙仁臨 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 防護(hù) 薄膜 組件 | ||
1.一種防護(hù)薄膜組件,其包含:
鋁合金制造的防護(hù)薄膜框架,其表面上具有聚合物包覆膜,以及
防護(hù)薄膜,其拉設(shè)于該防護(hù)薄膜框架上。
2.權(quán)利要求1所述的防護(hù)薄膜組件,其中,該聚合物包覆膜為電沉積涂布膜。
3.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,聚合物包覆膜為熱固化型樹脂的陰離子電沉積涂布膜。
4.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,聚合物包覆膜為黑色消光電沉積涂布膜,且其發(fā)射率為0.80~0.99。
5.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,在25℃的純水中浸漬168小時后,從防護(hù)薄膜框架中釋放出的硫酸離子溶出量以防護(hù)薄膜框架的重量計為1.0ppm以下。
6.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,在25℃的純水中浸漬168小時后,從防護(hù)薄膜框架中釋放出的有機(jī)酸離子溶出量以防護(hù)薄膜框架的重量計為1.0ppm以下。
7.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,在25℃的純水中浸漬168小時后,從防護(hù)薄膜框架中釋放出的硝酸離子溶出量以防護(hù)薄膜框架的重量計為0.5ppm以下。
8.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,在130℃下加熱10分鐘后,從防護(hù)薄膜框架中釋放出的有機(jī)類釋放氣體的產(chǎn)生量以防護(hù)薄膜框架的重量計為10.0ppm以下。
9.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,聚合物包覆膜的厚度為3~30μm。
10.權(quán)利要求1或2所述的防護(hù)薄膜組件,其中,上述鋁合金為JISA7075材料、JIS?A6061材料或JIS?A5052材料。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于信越化學(xué)工業(yè)株式會社,未經(jīng)信越化學(xué)工業(yè)株式會社許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/200710110347.1/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜;其制備,例如光學(xué)臨近校正(OPC)設(shè)計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準(zhǔn)或測試的特殊涂層或標(biāo)記;其制備
- 防護(hù)裝置和防護(hù)方法
- 防護(hù)材料與防護(hù)結(jié)構(gòu)與防護(hù)方法
- 一種用于評估防護(hù)工程綜合防護(hù)效能的數(shù)學(xué)計算模型
- 平面防護(hù)板、拐角防護(hù)板及防護(hù)裝置
- 平面防護(hù)板、拐角防護(hù)板及防護(hù)裝置
- 防護(hù)裝置及防護(hù)系統(tǒng)
- 防護(hù)蓋(接頭防護(hù)蓋)
- 巖爆防護(hù)臺車防護(hù)網(wǎng)以及防護(hù)臺車防護(hù)架
- 巖爆防護(hù)臺車防護(hù)網(wǎng)以及防護(hù)臺車防護(hù)架
- 防護(hù)罩、防護(hù)服及防護(hù)系統(tǒng)





