[發明專利]基板檢查用觸頭、基板檢查用夾具及基板檢查裝置

無效

• 申請號: 200710102915.3
• 申請日: 2007-05-11
• 公開（公告）號: CN101071140A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 廣部幸祐;藤野真;加藤穰
• 申請（專利權）人: 日本電產麗德株式會社
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/06;G01R31/02;G01R1/14
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 溫大鵬

技術領域

本發明涉及測定電路基板的電特性用的基板檢查用觸頭、將多個基板檢查用觸頭支承在導板上而構成的基板檢查用夾具、及使用基板檢查用夾具的基板檢查裝置。

背景技術

近年來，由于搭載在電路基板上的半導體元件或電阻器等電子零件集成度的提高，以致形成布線圖形的細間距化。在這樣的電路基板中，在電子零件搭載在電路基板之前的裸板的狀態下測定布線圖形的電阻可檢查電路基板電特性的良好與否。例如，將基板檢查用觸頭(探針)抵接在構成檢查對象的電路基板的布線圖形的檢查點、即兩處的連接盤(ランド)間，既定程度的電流流動于布線圖形中，將該連接盤間產生的電壓和臨界值對比，以檢查電路基板電特性的良好與否。并且，本發明所謂的電路基板除了印刷布線基板之外，當然也包含撓性布線基板、多層布線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用等的電極板，或者半導體封裝用的封裝基板或膜載體等。

作為在進行這樣的電路基板的檢查的基板檢查裝置中使用的基板檢查用夾具，提出一種例如圖8所示，由一端抵接在電路基板B的連接盤L的多個基板檢查用觸頭200與支承該多個基板檢查用觸頭200的導板202所構成的夾具(例如，專利文獻1)。

在此，基板檢查用觸頭200由第1銷體204；第2銷體206；及配置在第1銷體204和第2銷體206之間的壓縮螺旋彈簧208所構成。導板202由支承第1銷體204的兩個引導基部210、212；保持兩個引導基部210、212的間隔的隔件214；支承第2銷體206的兩個引導基部216、218；保持兩個引導基部216、218的間隔的隔件220；及支承壓縮螺旋彈簧208的兩個引導基部222、224所構成。

以上所構成的基板檢查用夾具，在基板檢查用觸頭200的第1銷體204一端抵接在電路基板B的連接盤L的狀態下，電路基板B相對于導板202被推壓，使壓縮螺旋彈簧208壓縮，由此第1銷體204一端彈性抵接在電路基板B的連接盤L上。

專利文獻1：特開2001-41977號公報

發明內容

但是，上述以往的基板檢查用夾具，由于需要支承第1銷體204的兩個引導基部210、212；支承第2銷體206的兩個引導基部216、218；及支承壓縮螺旋彈簧208的引導基部222、224這三種引導基部而導致導板202構成的復雜化，其結果，造成組裝繁雜的問題。并且，基板檢查用夾具的組裝繁雜的結果，也會導致有基板檢查裝置的組裝繁雜的問題。另外，基板檢查用夾具的組裝繁雜的結果，也會使得基板檢查用夾具的磨損了的基板檢查用觸頭200更換上的繁雜。

本發明是鑒于以上的情況而作成的，目的在于提供容易進行基板檢查用夾具的組裝的基板檢查用觸頭、組裝容易的基板檢查用夾具、及組裝容易的基板檢查裝置。

為了實現上述目的，技術方案1的發明用于測定電路基板的電特性，是支承在導板上、由導電性材料形成的基板檢查用觸頭，所述導板具有隔開既定間隔對置配置的第1引導基部及第2引導基部，其特征在于，具備：第1銷體，成為抵接在上述電路基板上的測定端的一端在露出于外部的狀態下可滑動地插通于形成在上述第1引導基部上的貫穿孔中，并且，另一端可滑動地插通于形成在上述第2引導基部上的貫穿孔中；第2銷體，以一端朝向該第1銷體的另一端的方式同軸狀地配置，在成為外部連接端的另一端露出于外部的狀態下插通于形成在上述第2引導基部上的上述貫穿孔中而被保持；及壓縮螺旋彈簧，配置在上述第1銷體的另一端和上述第2銷體一端之間，全長松動嵌入形成在上述第2引導基部上的上述貫穿孔中。

技術方案2的發明，在技術方案1涉及的發明中，其特征在于，上述第1銷體，具備：上述另一端側直徑形成得和上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大的大直徑部，及上述一端側直徑形成得比上述大直徑部小的小直徑部，并且在上述另一端具備直徑比上述大直徑部小的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈簧中，上述第1引導基部的貫穿孔，具有：使上述大直徑部插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述小直徑部插通的小直徑的第2貫穿孔。

技術方案3的發明，在技術方案2涉及的發明中，其特征在于，上述第2銷體，直徑形成得比上述第1銷體的大直徑部小，并且形成得比上述第1銷體短小，一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧上，上述第2引導基部的貫穿孔，具有：使上述第1銷體的另一端及上述壓縮螺旋彈簧全長插通的第1貫穿孔，及使上述第2銷體插通的小直徑的第2貫穿孔。