[發明專利]促動器及其制造方法以及打印頭

有效

• 申請號: 200710102534.5
• 申請日: 2003-10-17
• 公開（公告）號: CN101070005A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 由宇喜裕;高橋大輔;東別府誠;植木千歲;會田比呂史
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: B41J2/045
• 分類號: B41J2/045;B41J2/14;B41J2/16;H01L41/187;H01L41/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 朱丹

1.一種促動器，由陶瓷基板、和設置在該基板表面上的多個位移元件構成，該位移元件由壓電陶瓷層和夾持該壓電陶瓷層的一對電極構成，所述壓電陶瓷層由至少含Pb、Zr以及Ti的鈣鈦礦型化合物構成，且該鈣鈦礦型化合物的晶格常數比c/a是1.013～1.016，所述促動器的總厚度為100μm以下，并且所述壓電陶瓷層的表面和所述陶瓷基板內部的組成比Pb/(Ti+Zr)的最大差是0.02以下。

2.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于所述鈣鈦礦型化合物是鈦鋯酸鉛類化合物。

3.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于所述壓電陶瓷層含有選自Sr、Ba、Ni、Sb、Nb、Zn以及Te中的至少一種。

4.根據權利要求3所述的促動器，其特征在于所述壓電陶瓷層含0.02～0.08摩爾Ba和0.02～0.12摩爾Sr。

5.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于所述壓電陶瓷層中含有的Pb量與根據所述鈣鈦礦型化合物的化學計量比所要求的Pb量相比為過量，A位過量比在1.005～1.04，所述A位過量比是指將A位全成分的摩爾數之和用B位全成分的摩爾數之和相除后的值。

6.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于所述陶瓷基板是壓電體。

7.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于在所述陶瓷基板的一部分通過粘接層粘接有約束部，在非約束部發生位移。

8.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于所述壓電陶瓷層的d₃₁的大小為200pm/V以上。

9.根據權利要求1所述的促動器，其特征在于彈性柔量為14.0×10^-12m²/N以下。

10.一種打印頭，其特征在于由具有多個油墨流路的流路部件和接合在所述流路部件上面以使構成促動器的位移元件位于所述油墨流路正上方的權利要求1所述的促動器構成，并通過所述位移元件的位移，噴出填充于所述油墨流路中的油墨。