[發明專利]彎曲壓電式氧化鋅納米棒微電機(MEMS)振動傳感器

有效

• 申請號: 200710097874.3
• 申請日: 2007-04-23
• 公開（公告）號: CN101294844A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發明（設計）人: 萬里兮
• 申請（專利權）人: 萬里兮
• 主分類號: G01H11/08
• 分類號: G01H11/08;B81B7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種振動傳感器，其特征是：振動傳感器包括襯底、氧化鋅納米棒陣列、微電機結構，所述氧化鋅納米棒陣列均勻垂直生長在襯底表面，所述微電機結構重疊于生長氧化鋅納米棒陣列上；該振動傳感器微電機結構與襯底形成上、下電極，所述氧化鋅納米棒陣列處于振動傳感器上、下兩電極之間，部分或全部受到兩電極的壓迫而彎曲；在沒有生長氧化鋅納米棒的電極上刻有圖形，圖形能隨外界振動而產生共振。

2.根據權利要求1所記述的振動傳感器,其特征是：受壓彎曲的氧化鋅納米棒產生壓電效應，在兩電極之間產生電壓輸出。

3.根據權利要求2所記述的振動傳感器,其特征是：兩電極材料表面的硬度比氧化鋅納米棒的硬度大，形成兩導電層。

4.根據權利要求1所記述的振動傳感器,其特征是：兩電極之間有一絕緣層，用于兩電極的連接與隔離，并控制納米棒的初始壓迫程度。

5.根據權利要求1所記述的振動傳感器,其特征是：兩電極之間有防過載墊。

6.根據權利要求1所記述的振動傳感器,其特征是：該圖形結構壓彎氧化鋅納米棒，如果圖形結構為上下共振時，納米棒的壓迫程度將隨之改變，于是在兩電極間有變化電壓輸出；如果圖形結構為左右或前后共振時，原來與圖形不接觸的納米棒受到圖形結構的擠壓而變形，產生壓電效應，電極有電壓輸出。

7.根據權利要求6所記述的振動傳感器,其特征是：能與外界共振的圖形具有多個離散的頻率共振點，形成該傳感器對特定頻率或頻率范圍傳感。