[發(fā)明專利]角速度傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710096499.0
• 申請日: 2007-04-19
• 公開（公告）號: CN101059346A
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石川寬;山地隆行;今井彰;小笠原昭二;勝木隆史;高橋勇治;中澤文彥;高木宏明
• 申請（專利權(quán)）人: 富士通媒體部品株式會社;富士通株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01P9/04
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明大體上涉及一種角速度傳感器，更具體地涉及一種具有多個音叉式振動器的角速度傳感器。

背景技術(shù)

角速度傳感器檢測旋轉(zhuǎn)的角速度，并且用于避免由于手運(yùn)動而導(dǎo)致圖像模糊，并應(yīng)用于諸如汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、機(jī)動車、機(jī)器人姿態(tài)控制系統(tǒng)等系統(tǒng)。日本專利申請?zhí)亻_平9-292229號公報(以下稱為文獻(xiàn)1)公開了一種配備有多個柱狀振動器的角速度傳感器。日本專利No.3418245(以下稱為文獻(xiàn)2)公開了一種檢測多個軸線并以兩點(diǎn)支承柱狀振動器的角速度傳感器。上述柱狀或棒狀振動器被稱作音桿式振動器。另外，國際公報No.WO?03/100350(以下稱為文獻(xiàn)3)公開了一種音叉式振動器，其具有基部以及從該基部延伸的多個臂部。

音桿式振動器不能相對于外部振動調(diào)整振動平衡來抵消振動。因此，若如文獻(xiàn)1和文獻(xiàn)2中所述在一個外殼中布置兩個音桿式振動器，那么在各音桿式振動器中由外部振動引起的不必要振動(泄漏振動)會彼此干涉(干涉噪音)，并會使角速度的檢測精度變差。此外，音桿式振動器在固有振動頻率下具有窄的不動區(qū)。如果在各音桿式振動器中支承不動區(qū)之外的區(qū)域，那么其中一個音桿式振動器的驅(qū)動振動會傳播到另一音桿式振動器，從而會產(chǎn)生干涉噪音并且角速度的檢測精度會變差。另外，由于整個音桿式振動器振動，所以有必要以兩點(diǎn)支承音桿式振動器。因此，難以保持兩個支承部的位置精度或平衡。

同時，音叉式振動器具有這樣的構(gòu)造，其中左右臂部抵消了外部振動。在具有多個音叉式振動器的角速度傳感器中，這可防止角速度的檢測精度變差并防止干涉噪音。但是，即使在具有多個音叉式振動器的角速度傳感器中，對干涉噪音的抑制也不充分。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述情況做出了本發(fā)明，并且本發(fā)明提供了一種角速度傳感器，其可以減少多個音叉式振動器之間的干涉噪音。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種角速度傳感器，該角速度傳感器包括多個音叉式振動器，這之中的每個音叉式振動器分別包括基部和從該基部延伸的多個臂部，并且所述多個音叉式振動器之間的諧振頻率差至少為所述多個音叉式振動器的平均諧振頻率的百分之二。因此，可以減少多個音叉式振動器之間的干涉噪音。

附圖說明

下面將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例，其中：

圖1是本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器的立體圖；

圖2A是本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器的頂視圖；

圖2B是本發(fā)明第一示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的音叉式振動器和支承部的立體圖；

圖3A和圖3B是表示音叉式振動器的表面上的電極圖案的圖；

圖4A和圖4B是表示音叉式振動器的振動模式的圖；

圖5是表示相對于兩個音叉式振動器的諧振頻率之差的干涉噪音的曲線圖；

圖6A和圖6B是本發(fā)明第二示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器的立體圖；

圖7A和圖7B是說明本發(fā)明第三示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器的圖；

圖8A和圖8B是本發(fā)明第四示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的支承部的圖；

圖9A到圖9D是表示在本發(fā)明第一到第四示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器上進(jìn)行熱沖擊試驗(yàn)的結(jié)果的圖；

圖10A到圖10C是本發(fā)明第五示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的支承部的圖；

圖11A到圖11D是本發(fā)明第六示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的支承部的圖；

圖12A到圖12C是本發(fā)明第七示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的支承部的圖；

圖13是表示本發(fā)明第八示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的音叉式振動器的圖；以及

圖14A到圖14C是本發(fā)明第八示例性實(shí)施例中采用的角速度傳感器中的支承部的圖。

具體實(shí)施方式

下面將參照附圖描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。

(第一示例性實(shí)施例)