[發(fā)明專利]氮化鎵襯底以及氮化鎵襯底測(cè)試及制造方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710088106.1 | 申請(qǐng)日: | 2007-03-15 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101038895A | 公開(公告)日: | 2007-09-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 八鄉(xiāng)昭廣 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 住友電氣工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L23/00 | 分類號(hào): | H01L23/00;H01L21/66;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/00 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 林宇清;謝麗娜 |
| 地址: | 日本大阪府大阪*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 氮化 襯底 以及 測(cè)試 制造 方法 | ||
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