[發明專利]結合有多重磁芯的電感耦合等離子體反應器

無效

• 申請號: 200710086254.X
• 申請日: 2007-03-09
• 公開（公告）號: CN101064986A
• 公開（公告）日: 2007-10-31
• 發明（設計）人: 崔大圭
• 申請（專利權）人: 新動力等離子體株式會社
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24;H01L21/3205
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 鐘強;關兆輝

1.一種電感耦合等離子體反應器，其特征在于，包括：

反應器主體，具有多個等離子體放電室；

變壓器，具有多個橫穿等離子體放電室設置的磁芯、和初級線圈；

芯保護管，將位于等離子體放電室的內部的磁芯部分覆蓋從而進 行保護；以及

電源供給源，與初級線圈連接，

由電源供給源驅動初級線圈的電流，初級線圈的驅動電流感應產 生AC電位，該AC電位形成完成變壓器的次級電路的電感耦合等離子 體，電感耦合等離子體以覆蓋芯保護管的外側的方式形成在多個等離 子體放電室中，

其中，每個磁芯至少被兩個等離子放電室共有。

2.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

包括：氣體入口，至少與一個等離子體放電室連接；及氣體出口， 至少與另外一個等離子體放電室連接，

包括相互連接兩個等離子體放電室的連接通路。

3.根據權利要求2所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

反應器主體包括與至少兩個腔連接通路連接的氣體集合區域。

4.根據權利要求2所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

包括向氣體入口均勻分配并供給氣體的氣體分配部。

5.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

包括兩個以上分離的多重氣體出口。

6.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

反應器主體包括金屬物質，為了將渦電流最小化，金屬物質包括 一個以上的電絕緣區域，以使在金屬物質內具有電不連續性。

7.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

芯保護管包括電介體物質。

8.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

芯保護管包括金屬物質，為了將渦電流最小化，金屬物質包括一 個以上的電絕緣區域，以使在金屬物質內具有電不連續性。

9.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在于，

包括設置在芯保護管的內側的冷卻水供給通道。

10.根據權利要求9所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

冷卻水供給通道包括金屬物質，為了將渦電流最小化，金屬物質 包括一個以上的電絕緣區域，以使在金屬物質內具有電不連續性。

11.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

包括經由磁芯的中心部而形成的冷卻水供給通道。

12.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

包括阻抗匹配電路，其在電源供給源和初級線圈之間構成，進行 阻抗匹配。

13.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

上述電源供給源，沒有可調整的匹配電路，而進行動作。

14.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

還包括處理腔，接收容納在反應器主體中產生的等離子體氣體。

15.根據權利要求14所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

反應器主體具有可搭載在處理腔上的結構，電源供給源具有與反 應器主體物理分離的結構，

電源供給源與反應器主體由電源連接電纜在遠處進行連接。

16.根據權利要求1所述的電感耦合等離子體反應器，其特征在 于，

流入到等離子體放電室中的氣體從包括非活性氣體、反應氣體、 以及非活性氣體和反應氣體的混合氣體的組合中選擇。