[發明專利]非晶質碳系硬質多層膜和表面上具有該膜的硬質表面部件

有效

• 申請號: 200710085469.X
• 申請日: 2007-03-07
• 公開（公告）號: CN101062602A
• 公開（公告）日: 2007-10-31
• 發明（設計）人: 山本兼司;松門克浩
• 申請（專利權）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: B32B33/00
• 分類號: B32B33/00;B32B9/00;C23C14/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 陳平

1.一種形成于基材上的非晶質碳系硬質多層膜，其特征在于，包含：

在基材側形成的基底層；

在表面側形成的表面層；以及

在基底層與表面層之間形成的組成變化層，

其中，所述基底層包含下式(1)所示的元素M的氮化物或碳-氮化物，

所述表面層包含含有50原子％或更高的C的非晶質碳膜，以及

所述組成變化層是從基底層到非晶質碳膜，元素M和氮減少而碳增加 的層：

M1-x-yCxNy...(1)，

其中，所述元素M包括選自W、Mo和Ta中的至少一種；并且其中x 和y表示原子比，x為0.5或更小，y為0.03或更大，且1-x-y大于0，并 且

當基底層的晶體結構通過X-射線衍射檢測時，α-W結構、α-Mo結構 或TaN結構的最大峰的強度為其它晶體結構的峰強度的至少5倍大。

2.根據權利要求1的非晶質碳系硬質多層膜，

其特征在于，在所述基材和所述基底層之間，形成包含選自元素周期 表中的IVB族元素、VB族元素、VIB族元素、Al和Si中的至少一種元 素的元素層。

3.一種硬質表面部件，其特征在于，包括基材以及形成在所述基材表 面上的根據權利要求1的非晶質碳系硬質多層膜。

4.一種硬質表面部件，其特征在于，包括基材以及形成在所述基材表 面上的根據權利要求2的非晶質碳系硬質多層膜。