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[發明專利]半導體集成電路裝置及其制造方法無效

專利信息
申請號: 200710085008.2 申請日: 2007-02-28
公開(公告)號: CN101030578A 公開(公告)日: 2007-09-05
發明(設計)人: 池上智朗;西村英敏 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: H01L27/02 分類號: H01L27/02;H01L23/522;H01L23/528;H01L21/82;H01L21/768;G06F17/50
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 代理人: 馬高平;楊梧
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 集成電路 裝置 及其 制造 方法
【說明書】:
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