[發(fā)明專利]TFT LCD玻璃基板的蝕刻裝置及其蝕刻方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710080314.7
• 申請日: 2007-02-27
• 公開（公告）號: CN101255012A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王泊可
• 申請（專利權(quán)）人: 睿明科技股份有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;H01L21/311
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務(wù)所
• 代理人: 劉祖芬

1.?一種TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，其包括有：

至少兩個承載匣，各承載系可供承載欲蝕刻的TFT?LCD玻璃基板；

至少兩個蝕刻清洗槽，各蝕刻清洗槽可供容置上述承載TFT?LCD玻璃基板的承載匣，且各蝕刻清洗槽分別連接一液體供應(yīng)單元、一氣體供應(yīng)單元及一藥劑供應(yīng)單元；

一清洗槽，該清洗槽可供容置上述承載TFT?LCD玻璃基板的承載匣，且該清洗槽分別與上述液體供應(yīng)單元及氣體供應(yīng)單元連接；以及

一干燥槽，該干燥槽可供容置上述承載TFT?LCD玻璃基板的承載匣，該干燥槽與上述氣體供應(yīng)單元連接。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，該各蝕刻清洗槽可至少定義為一第一蝕刻清洗槽及一第二蝕刻清洗槽。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，各蝕刻清洗槽分別連通有一進(jìn)水管、出水管，且各進(jìn)水管與該藥劑供應(yīng)單元連接，另各出水管分別與一連接該藥劑供應(yīng)單元的暫存槽連接。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，各蝕刻清洗槽的兩側(cè)分別具有連接一泵的沖擊單元，各沖擊單元分別具有一推出口，且推出口處具有一設(shè)置于蝕刻清洗槽兩側(cè)的沖擊板，且該沖擊板上具有多個孔隙，并于各蝕刻清洗槽的底部兩側(cè)分別具有一吸入口且也與該泵相連接。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，各蝕刻清洗槽內(nèi)部的一端分別具有一與液體供應(yīng)單元連通的上噴嘴組，且另一端分別具有一與液體供應(yīng)單元及氣體供應(yīng)單元連通的下噴嘴組。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，該清洗槽連通有一進(jìn)水管、出水管，且該出水管排放清洗后廢水。

7.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，該清洗槽內(nèi)部的一端分別具有一與液體供應(yīng)單元連通的上噴嘴組，且另一端分別具有一與液體供應(yīng)單元及氣體供應(yīng)單元連通的下噴嘴組。

8.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，該干燥槽連通有一排水管。

9.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻裝置，其特征在于，該干燥槽內(nèi)部的兩側(cè)分別具有與氣體供應(yīng)單元連通的風(fēng)刀組。

10.?一種TFT?LCD玻璃基板的蝕刻方法，其特征在于，其至少包括有下列步驟：

步驟一：提供至少第一及第二蝕承載匣與第一及第二蝕刻清洗槽，而該第一及第二蝕刻清洗槽連接一液體供應(yīng)單元、一氣體供應(yīng)單元及一藥劑供應(yīng)單元；

步驟二：先于第一承載匣中放置多個TFT?LCD玻璃基板，將第一承載匣移入第一蝕刻清洗槽中，并使第一蝕刻清洗槽利用液體供應(yīng)單元、氣體供應(yīng)單元及藥劑供應(yīng)單元對第一承載匣中的多個TFT?LCD玻璃基板進(jìn)行蝕刻并作初步清洗；

步驟三：將蝕刻及初步清洗后的第一承載匣移入于連接有液體供應(yīng)單元及氣體供應(yīng)單元的清洗槽中，進(jìn)行二次清洗，并同時于第二承載匣中放置多個TFT?LCD玻璃基板，將第二承載匣移入第二蝕刻清洗槽中，并使第二蝕刻清洗槽以液體供應(yīng)單元、氣體供應(yīng)單元及藥劑供應(yīng)單元對第二承載匣中的多個TFT?LCD玻璃基板進(jìn)行蝕刻并作初步清洗；

步驟四：將清洗完成后第一承載匣中的多個TFT?LCD玻璃基板移入于連接氣體供應(yīng)單元的干燥槽中，進(jìn)行烘干，從而完成第一承載匣中多個TFT?LCD玻璃基板的蝕刻，并同時將蝕刻及初步清洗后第二承載匣中的多個TFT?LCD玻璃基板移入于上述清洗槽中進(jìn)行二次清洗；以及

步驟五：再將清洗完成后第二承載匣中的多個TFT?LCD玻璃基板置入于上述干燥槽中，進(jìn)行烘干，從而完成第二承載匣中多個TFT?LCD玻璃基板的蝕刻。

11.?根據(jù)權(quán)利要求10所述的TFT?LCD玻璃基板的蝕刻方法，其特征在于，該第一及第二蝕刻清洗槽分別連通有一進(jìn)水管、出水管，各進(jìn)水管與該藥劑供應(yīng)單元連接，做為藥劑供應(yīng)，另各出水管分別與一連接該藥劑供應(yīng)單元的暫存槽連接，做為藥劑的暫存及回收。