[發(fā)明專利]環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710054631.1
• 申請日: 2007-06-20
• 公開（公告）號: CN101071744A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玉魁
• 申請（專利權(quán)）人: 中原工學(xué)院
• 主分類號: H01J31/12
• 分類號: H01J31/12;H01J31/15;H01J29/02;H01J29/04;H01J1/304;H01J1/46;H01J9/02;H01J9/00
• 代理公司: 鄭州科維專利代理有限公司
• 代理人: 張欣棠;張國文

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。

背景技術(shù)

碳納米管場致發(fā)射顯示器件是一種新型的自發(fā)光平面顯示器件，既具有了陰極射線管顯示器的高圖像顯示質(zhì)量，又具有液晶顯示器的低功耗超薄型的優(yōu)點(diǎn)，并有著出色的對比度和豐富的色彩，幾乎不存在視角問題，被公認(rèn)為是理想的下一代平板顯示器的代表。它將等離子體顯示器的大面積性以及液晶顯示器的超薄型等優(yōu)點(diǎn)集于一身，同時(shí)再加之高分辨率的顯示圖像特性，業(yè)已成為了新一代國際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。

在三極結(jié)構(gòu)的碳納米管陰極場致發(fā)射顯示器件中，柵極結(jié)構(gòu)加入的主要目的是降低器件工作電壓，便于能和常規(guī)的集成驅(qū)動(dòng)電路相聯(lián)系，降低總體器件成本。在柵極結(jié)構(gòu)的加入已成為一種必然選擇后，由于柵極結(jié)構(gòu)所帶來的負(fù)面問題不可忽視，諸如目前顯示器件中柵極電壓還是居高不下，柵極結(jié)構(gòu)會(huì)截留部分電子形成柵極電流，柵極的控制作用不顯著以及碳納米管陰極的電子發(fā)射效率低等問題都需加以解決。因此在實(shí)際器件制作過程中，究竟采用何種柵極結(jié)構(gòu)，究竟采用何種制作工藝，如何進(jìn)一步增強(qiáng)柵極調(diào)控功能，以及如何提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，都需眾多科研人員的積極思考和認(rèn)真解決。

此外在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。

本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)。

所述的環(huán)垂直面型控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，下表面覆蓋住柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在小圓孔，作為柵極延長線層的通道；柵極增高層中小圓孔內(nèi)印刷的銀漿層形成柵極延長線層；柵極增高層上表面刻蝕后的金屬層形成柵極基底層；柵極基底層呈現(xiàn)圓盤面型形狀，坐落于柵極增高層的上表面上；柵極基底層和柵極延長線層相互連通；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層分別形成間隔一層和間隔四層；間隔一層和間隔四層的縱向截面均為長方形，短邊和柵極基底層相互接觸，長邊邊長正好是短邊邊長的兩倍；間隔一層和間隔四層呈現(xiàn)環(huán)形形狀，環(huán)繞在柵極基底層的上面，間隔一層形成外環(huán)形形狀，間隔四層形成內(nèi)環(huán)形形狀，其環(huán)形中心都與柵極基底層的中心相同；間隔一層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制一層；間隔四層內(nèi)側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成柵極管制二層；柵極管制一層和柵極管制二層呈垂直面型形狀，分別依附于間隔一層和間隔四層的內(nèi)側(cè)面上，環(huán)繞成環(huán)形形狀；柵極管制一層、柵極管制二層、間隔一層以及間隔二層的高度都相同；柵極管制一層和柵極管制二層都與柵極基底層相互連通；柵極管制一層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔二層；柵極管制二層內(nèi)側(cè)印刷的絕緣漿料層形成間隔五層；間隔二層和間隔五層的縱向截面也呈現(xiàn)長方形形狀，且長邊邊長是短邊邊長的兩倍，短邊和柵極基底層相互接觸；間隔二層環(huán)繞在柵極管制一層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔一層的高度相同；間隔五層環(huán)繞在柵極管制二層的內(nèi)側(cè)，形成環(huán)形形狀，其高度與間隔四層的高度相同；間隔一層和間隔二層分立在柵極管制一層的兩側(cè)，共同將柵極管制一層包圍起來；間隔四層和間隔五層分立在柵極管制二層的兩側(cè)，共同將柵極管制二層包圍起來；間隔一層和間隔二層上表面上印刷的絕緣漿料層形成間隔三層；間隔四層和間隔五層上表面上印刷的絕緣漿料層形成間隔六層；間隔三層和間隔六層的縱向截面也都呈現(xiàn)長方形形狀，其長邊邊長是短邊邊長的兩倍，總體呈現(xiàn)環(huán)形形狀；間隔三層位于間隔一層和間隔二層的上方，其長邊和間隔一層與間隔二層的上表面相互接觸；間隔六層位于間隔四層和間隔五層的上方，其長邊和間隔四層與間隔五層上表面相互接觸；柵極基底層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極增高層；陰極增高層覆蓋住柵極基底層的上表面以及柵極增高層的上表面；陰極增高層不能夠覆蓋間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層的表面；間隔一層、間隔二層、間隔三層、間隔四層、間隔五層、間隔六層以及位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層的表面上刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；位于間隔二層和間隔四層之間的陰極增高層上面的陰極過渡層的上面不存在陰極導(dǎo)電層；陰極增高層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過渡層以及陰極導(dǎo)電層都相互連通；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。