[發(fā)明專利]靶面焦斑監(jiān)測(cè)裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710047630.4
• 申請(qǐng)日: 2007-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN101144906A
• 公開（公告）日: 2008-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任冰強(qiáng);黃惠杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G02B27/00
• 分類號(hào): G02B27/00;G01M11/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種用于激光打靶的靶面焦斑監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于包括：

平行激光束發(fā)射光路，包括激光光源(1)及沿該激光光源(1)的出射光方向依次的反射鏡(4)、聚焦鏡(5)、分光棱鏡(6)和主物鏡(7)構(gòu)成，所述的聚焦鏡(5)的焦點(diǎn)位于主物鏡(7)的焦面上；

靶面成像光路，由依次的主物鏡(7)、分光棱鏡(6)、由初級(jí)顯微物鏡(9)和次級(jí)變倍顯微物鏡(10)組成，所述的主物鏡(7)的焦點(diǎn)位于初級(jí)顯微物鏡(9)的物面上，初級(jí)顯微物鏡(9)的像平面與次級(jí)變倍顯微物鏡(10)的物面重合；

所述的平行激光束發(fā)射光路與靶面成像光路通過所述的分光棱鏡(6)實(shí)現(xiàn)共光路；

光軸對(duì)接系統(tǒng)(8)，由第一反射鏡(801)和第二反射鏡(802)組成，所述的第一反射鏡(801)和第二反射鏡(802)都具有沿光軸移動(dòng)、作俯仰與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；

圖像接收系統(tǒng)，包括CCD攝像機(jī)(11)和監(jiān)視器(12)，所述的CCD攝像機(jī)(11)位于所述的次級(jí)變倍顯微物鏡(10)的像平面，所述的CCD攝像機(jī)(11)的輸出與所述的監(jiān)視器(12)相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶面焦斑監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于所述的主物鏡(7)是一擴(kuò)束準(zhǔn)直透鏡，其擴(kuò)束后的通光口徑等于待監(jiān)測(cè)的激光打靶光束的口徑。