[發明專利]用于物理氣相沉積裝置的輔助治具及其維護方法

有效

• 申請號: 200710042419.3
• 申請日: 2007-06-22
• 公開（公告）號: CN101328571A
• 公開（公告）日: 2008-12-24
• 發明（設計）人: 孫佳儒;周鋒
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00;C23C14/50
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種物理氣相沉積裝置，所述的物理氣相沉積裝置具有腔體、加熱板和 輔助治具，所述的輔助治具包括：用于承載晶圓的沉積環，套設在沉積環上的 圓環蓋板，用于覆蓋腔體內側的數塊擋板，以及加熱板預熱時使用的擋片，其 特征在于，所述沉積環的外徑與圓環蓋板的內徑大小相匹配，當圓環蓋板套設 在沉積環上時，兩者不發生相對移動。

2.如權利要求1所述的物理氣相沉積裝置，其特征在于：所述擋片的邊緣 為直角。

3.一種維護如權利要求1所述的物理氣相沉積裝置的方法，其特征在于： 對所述的輔助治具進行清洗，并于清洗之后執行一高溫烘干步驟。

4.如權利要求3所述的方法，其特征在于：所述的高溫烘干步驟在大于100 攝氏度的氮氣環境中進行。