[發明專利]一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法

無效

• 申請號: 200710038217.1
• 申請日: 2007-03-20
• 公開（公告）號: CN101271027A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 瞿丹紅;吳協祥;張士仁;陳淑美
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01K15/00
• 分類號: G01K15/00;G01K7/02
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本發明涉及熱電偶的回收，特別涉及一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法。

背景技術

在半導體制造領域，溫度是最重要的控制參數之一，故各種長度的熱電偶被用來偵測不同工藝步驟的工藝溫度，現通常使用的熱電偶是由金屬鉑或鉑銠合金制成，其造價昂貴，當長度較長的熱電偶出現問題時，為節約成本通常將該熱電偶進行回收再利用。

但現有的回收利用方法，僅單純的將熱電偶有粗細不均、斷裂和毛邊的部分剪除后，然后再制作焊點進行回收再利用，如此將很難確保熱電偶測溫的準確度，使測溫不準的熱電偶進入制造工序而造成巨大的經濟損失。

發明內容

本發明的目的在于提供一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，通過所述方法可確保回收的熱電偶能準確測定溫度。

本發明的目的是這樣實現的：一種判斷熱電偶是否可回收再利用的方法，該方法先判斷待回收熱電偶是否有外觀缺陷，當有外觀缺陷時判定該待回收熱電偶無法進行回收利用，當無外觀缺陷時繼續進行判斷，該方法還包括以下步驟：(1)將該無外觀缺陷的待回收熱電偶和標準熱電偶設置在同樣的溫度環境下；(2)改變該溫度環境的溫度并使其涵蓋該待回收熱電偶的量程范圍；(3)記錄該待回收熱電偶和標準熱電偶測得的電壓值；(4)計算出該待回收熱電偶和標準熱電偶的電壓差值并取得對應的溫度差值；(5)依據該溫度差值判斷該待回收熱電偶是否可回收再利用。

在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該步驟(5)包括以下步驟：(50)判斷該溫度差值是否大于一容許差值，若是則繼續步驟(52)，若否，則繼續步驟(51)；(51)判斷該溫度差值是否分布在同一直線上，若是則判定該待回收熱電偶可回收再利用，若否，則繼續步驟(52)；(52)判斷該待回收熱電偶是否短于一最小長度，若是，則判定該待回收熱電偶無法進行回收利用，若否，則從熱電偶焊點處截去一固定長度并重新制作焊點后再返回步驟(2)。

在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，通過顯微鏡判斷該待回收熱電偶是否有外觀缺陷。

在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該容許差值為正負2℃。

在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該最小長度為41.9cm。

在上述的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法中，該固定長度為10cm。

與現有技術相比，本發明在判斷出待回收熱電偶無外觀缺陷后，使用該待回收熱電偶和標準熱電偶測試同樣的溫度且取得溫度差值，并依據該溫度差值判斷該待回收熱電偶是否可回收再利用，如此可確保回收再利用的熱電偶測溫準確。

附圖說明

本發明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本發明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法的實施例的流程圖。

具體實施方式

以下將對本發明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法作進一步的詳細描述。

本發明的判斷熱電偶是否可回收再利用的方法首先進行步驟S10，判斷待回收熱電偶是否有外觀缺陷，若有則繼續步驟S19，若無則繼續步驟S11。

在本實施例中，通過顯微鏡和宏觀觀察來判斷所述待回收熱電偶是否有外觀缺陷，所述外觀缺陷包括粗細不均、斷裂和毛邊等。

在步驟S11中，將所述待回收熱電偶和標準熱電偶設置在同樣的溫度環境下。然后繼續步驟S12。

在步驟S12中，改變所述溫度環境的溫度值并使其涵蓋所述待回收熱電偶的量程范圍。然后繼續步驟S13。在本實施例中，所述量程范圍為300℃至1000℃。

在步驟S13中，記錄所述待回收熱電偶和標準熱電偶測得的電壓值。然后繼續步驟S14。

在步驟S14中，計算出所述待回收熱電偶和標準熱電偶的電壓差值，并取得對應的溫度差值。然后繼續步驟S15。

在步驟S15中，判斷所述溫度差值是否大于一容許差值，若是則繼續步驟S18，若否，則繼續步驟S16。在本實施例中，所述容許差值為正負2℃

在步驟S16中，判斷所述溫度差值是否分布在同一直線上，若是則繼續步驟S17，若否，則繼續步驟S18。

在步驟S17中，判定所述待回收熱電偶可回收再利用。

在步驟S18中，判斷所述待回收熱電偶是否短于一最小長度，若是，則繼續步驟S19，若否，則繼續步驟S110。在本實施例中，所述最小長度為41.9cm。

在步驟S19中，判定所述待回收熱電偶無法進行回收利用。