[發明專利]一種石英玻璃上制作納米級溝道的方法有效
| 申請號： | 200710036417.3 | 申請日： | 2007-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN101037185A | 公開（公告）日： | 2007-09-19 |
| 發明（設計）人： | 金慶輝;劉菁;趙建龍 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;C03C15/00;B01J19/00;B01L3/00;G01N35/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石英玻璃 制作 納米 溝道 方法 | ||
【說明書】：
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