[發(fā)明專(zhuān)利]防滴漏型光阻瓶

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200710023418.4
• 申請(qǐng)日: 2007-06-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101315519A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 和艦科技（蘇州）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/00
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/00;H01L21/027
• 代理公司: 南京蘇科專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陳忠輝;姚姣陽(yáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種液劑容器，尤其涉及一種通過(guò)外界施壓控制瓶?jī)?nèi)液劑出液流量的光阻瓶。

背景技術(shù)

隨著集成電路技術(shù)的飛速進(jìn)步，集成度在不斷提高，芯片面積在不斷縮小，由此對(duì)集成電路制造工藝也提出了更高的要求。經(jīng)歷了數(shù)十年反復(fù)的研究、實(shí)踐、改進(jìn)、再實(shí)踐，如今的IC制程技術(shù)已經(jīng)達(dá)到了一個(gè)較為成熟的水平?！拔g刻”作為當(dāng)前IC制程的一個(gè)重要環(huán)節(jié)對(duì)于集成電路的集成度提高正起著越來(lái)越重要的作用。在這個(gè)過(guò)程中，光阻是這道工序必不可少的制備材料，通過(guò)光阻的覆蓋、曝光、顯影及去除完成蝕刻進(jìn)而為后續(xù)工序提供可能。

現(xiàn)行比較通用的光阻瓶是液劑瓶附套一個(gè)功能型瓶蓋，瓶蓋上安裝進(jìn)氣管、出液管，進(jìn)氣管向瓶?jī)?nèi)施壓，液劑從出液管輸出，從而為IC制程的蝕刻工序提供流量可控的腐蝕性光阻液劑。但是這種傳統(tǒng)的光阻瓶在更換或補(bǔ)充光阻時(shí)，出液管里面的殘余光阻受重力作用會(huì)滴到高架地板上面，對(duì)工作環(huán)境造成破壞。且光阻具有腐蝕性，工作環(huán)境一旦被污染，后續(xù)清潔將很麻煩。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述情況，本發(fā)明提供了一種可以防止滴漏的光阻瓶，其目的是在維持原功能的前提下，更換瓶蓋時(shí)腐蝕性光阻不再滴漏，保持工作環(huán)境清潔。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案是：防滴漏型光阻瓶，用于集成電路制造工藝，為蝕刻過(guò)程提供流量可控的腐蝕性光阻液劑，其結(jié)構(gòu)包括瓶體、瓶蓋、進(jìn)氣管和出液管，瓶體與瓶蓋之間為螺紋連接，進(jìn)氣管和出液管經(jīng)由瓶蓋與瓶體內(nèi)部通連，其特征在于：所述瓶蓋與瓶體之間設(shè)有一段可伸縮軟管，該可伸縮軟管的上下兩端分別抵在瓶蓋內(nèi)表面以及瓶體的瓶口上面，當(dāng)瓶蓋安裝于瓶體上面時(shí)，瓶口和瓶蓋從兩側(cè)擠壓可伸縮軟管，使軟管收縮；同時(shí)，所述出液管分為上下兩段，下段為吸液段、上段為出液段，吸液段的下端插入瓶體底部，工作時(shí)浸入光阻液劑的內(nèi)部，出液段的上端處于瓶體之外，并與光阻液劑的輸出管線(xiàn)連接，而出液段的下端以及吸液段的上端，則分別與所述可伸縮軟管的上下兩端連接，連接之后三者內(nèi)部空間相互通連，構(gòu)成中途密閉的吸液和出液通路。

這樣，本發(fā)明通過(guò)在瓶蓋和瓶體內(nèi)部增設(shè)一段抗腐蝕、具備一定張力的、可以伸長(zhǎng)縮短的軟管，并把原出液管分成吸液段和出液段兩部分，這兩段分別與可伸縮軟管連通并與外界密閉，在擰松瓶蓋時(shí)軟管伸長(zhǎng)形成低壓腔體，殘留于吸液管內(nèi)的光阻被吸入到軟管內(nèi)，不再會(huì)滴到光阻瓶之外；當(dāng)擰緊瓶蓋時(shí)，軟管受到擠壓而縮短，軟管內(nèi)的光阻排回瓶體，照樣可以正常使用。因此，本發(fā)明技術(shù)方案在維持光阻瓶正常使用功能的前提下，很好地解決了現(xiàn)在技術(shù)存在的問(wèn)題，確保工作環(huán)境清潔。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋的結(jié)構(gòu)俯視示意圖；

圖3是本發(fā)明所對(duì)照的先有瓶蓋結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋從瓶口旋松時(shí)的狀態(tài)示意圖；

圖5是本發(fā)明中防滴漏型光阻瓶蓋從瓶口旋緊時(shí)的狀態(tài)示意圖。

以上各圖當(dāng)中的附圖標(biāo)記的含義是：

1-瓶體，2-瓶蓋，3-瓶口；

21-進(jìn)氣管，22-出液管，23-吸液管，24-螺紋軟管，25-連接螺紋，26-進(jìn)壓孔，27-出液管孔，28-蓋體徑向內(nèi)壁，29-瓶蓋的徑向圓心，30-先前設(shè)計(jì)的出液管，31-瓶口邊緣；

231-出液孔，241-軟管腔，242-軟管底部，243-軟管的徑向圓心；

A-N₂氣體，B-光阻。

具體實(shí)施方式

以下將參照附圖更全面地描述本發(fā)明的技術(shù)方案。其中示意了本發(fā)明的典型實(shí)施例，但是本發(fā)明可以以多種方式來(lái)實(shí)施，并不僅僅局限于這里所提出的實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例可使本發(fā)明技術(shù)方案公開(kāi)得更徹底、更全面，并且將充分地向本領(lǐng)域技術(shù)人員傳達(dá)本發(fā)明的保護(hù)范圍。