[發(fā)明專利]一種掩膜板

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200710022107.6
• 申請日: 2007-04-28
• 公開（公告）號: CN101295128A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱勇;張祝新;徐粵
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山維信諾顯示技術(shù)有限公司;清華大學(xué);北京維信諾科技有限公司
• 主分類號: G03F1/00
• 分類號: G03F1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掩膜板，僅包括掩膜本體，其特征在于，所述掩膜本體孔洞邊緣設(shè)有倒角。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜本體厚度為1mm-15mm，優(yōu)選為2mm-12mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)發(fā)光顯示器件電極基板，其特征在于，所述孔洞邊緣倒角與掩膜板垂直方向所呈夾角為10°-45°。

4.一種掩膜板，僅包括掩膜本體，其特征在于，所述掩膜本體上設(shè)置的供被蒸鍍材料通過的孔洞邊緣側(cè)壁與掩膜板垂直方向呈夾角。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜本體厚度為1mm-15mm，優(yōu)選為2mm-12mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的掩膜板，其特征在于，所述孔洞邊緣側(cè)壁與掩膜板垂直方向所呈夾角為10°-45°。