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[發明專利]雙熱電堆平衡式微電子機械微波功率傳感器及其制備方法無效

專利信息
申請號: 200710021764.9 申請日: 2007-04-27
公開(公告)號: CN101046487A 公開(公告)日: 2007-10-03
發明(設計)人: 廖小平;田濤 申請(專利權)人: 東南大學
主分類號: G01R21/02 分類號: G01R21/02;B81B7/02
代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 代理人: 葉連生
地址: 21009*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 熱電 平衡 式微 電子機械 微波 功率 傳感器 及其 制備 方法
【說明書】:
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