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[發明專利]一種三氯氫硅提純方法無效

專利信息
申請號: 200710021687.7 申請日: 2007-04-24
公開(公告)號: CN101045536A 公開(公告)日: 2007-10-03
發明(設計)人: 黃和明;趙立奎;夏建保 申請(專利權)人: 南京鍺廠有限責任公司
主分類號: C01B33/107 分類號: C01B33/107;C01B33/08
代理公司: 南京知識律師事務所 代理人: 張蘇沛
地址: 211165*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 三氯氫硅 提純 方法
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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