[發(fā)明專利]一種高密度無機(jī)材料光柵的制備方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200710018545.5 | 申請(qǐng)日： | 2007-08-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101165514A | 公開（公告）日： | 2008-04-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙高揚(yáng);王哲哲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西安理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G02B5/18 | 分類號(hào)： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務(wù)所 | 代理人： | 羅笛;談耀文 |
| 地址： | 710048*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高密度 無機(jī) 材料 光柵 制備 方法 | ||
1.一種高密度無機(jī)材料光柵的制備方法，其特征在于，該方法按以下步驟進(jìn)行，
a.采用感光溶膠-凝膠法制備感光薄膜
以金屬化合物、酮類或二酮類化合物為出發(fā)原料，采用溶膠-凝膠法制備具有紫外感光性的含金屬螯合物的凝膠薄膜，通過提拉，旋涂等方法將凝膠薄膜涂在硅基底上；
b.采用激光干涉法制備高密度光柵，并使之轉(zhuǎn)化為無機(jī)材料光柵
采用紫外激光器作為光源，使兩束滿足干涉條件的平行光以相同的角度照射到步驟a得到的感光凝膠薄膜表面，使之產(chǎn)生干涉條紋，干涉曝光后，將凝膠薄膜和基板浸入有機(jī)溶劑中，未光照區(qū)域在有機(jī)溶劑中完全溶解，光照區(qū)域則保留下來，從而得到凝膠薄膜光柵；
進(jìn)一步在大氣環(huán)境下，將凝膠薄膜光柵進(jìn)行熱處理，使之轉(zhuǎn)化為無機(jī)材料光柵；
c.對(duì)無機(jī)材料光柵進(jìn)行化學(xué)刻蝕
配制硅的各向異性化學(xué)刻蝕劑，攪拌至澄清，將上步得到的無機(jī)材料光柵浸入刻蝕劑中，在超聲波中進(jìn)行刻蝕，得到一個(gè)表面被無機(jī)材料薄膜覆蓋的硅槽光柵；
d.將上步刻蝕后的光柵進(jìn)行表面鍍金處理，即完成制備過程。
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