[發明專利]有源矩陣基板、顯示裝置、電視接收機、有源矩陣基板的制造方法、柵極絕緣膜形成方法

無效

• 申請號: 200680053309.0
• 申請日: 2006-11-07
• 公開（公告）號: CN101384949A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 津幡俊英;武內正典
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: G02F1/1368
• 分類號: G02F1/1368;G09F9/30;H01L21/336;H01L29/786
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 龍 淳

1.一種有源矩陣基板，其具備多個晶體管，其特征在于：

覆蓋各晶體管的柵極電極的柵極絕緣膜在與各柵極電極重疊的部分具有膜厚變小的薄膜部，

該薄膜部利用與其重疊的柵極電極作為掩模而形成。

2.如權利要求1所述的有源矩陣基板，其特征在于：

各晶體管具有源極電極和配置在其兩側的第一和第二漏極電極部，

所述薄膜部具有相對置的兩個邊緣，所述第一漏極電極部與其一個邊緣重疊，所述第二漏極電極部與另一個邊緣重疊。

3.一種有源矩陣基板，其具備多個晶體管，其特征在于：

覆蓋各晶體管的柵極電極的柵極絕緣膜在與各柵極電極重疊的部分具有膜厚變小的薄膜部，

各晶體管具有源極電極和配置在其兩側的第一和第二漏極電極部，

所述薄膜部具有相對置的兩個邊緣，并且所述第一漏極電極部與其一個邊緣重疊，所述第二電極部與另一個邊緣重疊。

4.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述第一和第二漏極電極部具有相互為軸對稱的形狀。

5.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述源極電極在所述第一和第二漏極電極部的對稱軸上延伸。

6.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

各柵極電極具有相對置的兩個邊緣，所述薄膜部的各邊緣位于該柵極電極的各邊緣上。

7.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

各柵極電極具有相對置的兩個邊緣，所述薄膜部的各邊緣位于與該柵極電極的各邊緣相隔大致等距離的內側且沿著該柵極電極的各邊緣的線上。

8.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述源極電極由相對置的第一和第二源極電極部構成，

在該第一和第二源極電極部之間設置有第三漏極電極部。

9.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述柵極絕緣膜由多個柵極絕緣層構成，

在所述薄膜部中，至少一個柵極絕緣層形成得薄。

10.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述柵極絕緣膜由多個柵極絕緣層構成，在薄膜部具有1個以上的柵極絕緣層，在其他部分具有比其多的柵極絕緣層。

11.如權利要求10所述的有源矩陣基板，其特征在于：

在所述其他部分，最下層的柵極絕緣層為平坦化膜。

12.如權利要求11所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述平坦化膜由旋涂玻璃(SOG)材料構成。

13.如權利要求11所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述平坦化膜的與基板面相接的部分的厚度大于形成在基板面上的柵極電極。

14.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

柵極絕緣膜的所述各邊緣附近為正楔形。

15.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述薄膜部為長方形，長邊方向的兩條邊相當于薄膜部的所述兩個邊緣。

16.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

第一和第二漏極電極部在薄膜部的所述邊緣方向延伸。

17.如權利要求2或3所述的有源矩陣基板，其特征在于：

第一和第二漏極電極部分別具備在所述薄膜部的邊緣方向延伸的延伸部、和從該延伸部向遠離源極電極的方向延伸的連接部，

所述延伸部位于薄膜部上，并且連接部與薄膜部的邊緣重疊，該連接部的所述邊緣方向的寬度小于延伸部的所述邊緣方向的寬度。

18.如權利要求6所述的有源矩陣基板，其特征在于：

所述柵極電極為長方形，長邊方向的兩條邊相當于柵極電極的所述兩個邊緣。

19.如權利要求10所述的有源矩陣基板，其特征在于：

具備包含有機物的柵極絕緣層。