[發明專利]用于多孔墊的模塑可旋轉基體

有效

• 申請號: 200680052347.4
• 申請日: 2006-11-21
• 公開（公告）號: CN101336142A
• 公開（公告）日: 2008-12-31
• 發明（設計）人: C·瓦戈;T·勒布朗
• 申請（專利權）人: 安格斯公司
• 主分類號: B08B11/00
• 分類號: B08B11/00;B29C49/00;B08B1/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 蔡勝利

本發明專利申請要求2005年12月6日提交的美國臨時專利申請 No.60/742641以及2006年7月10日提交的美國臨時專利申請No. 60/819605的優先權，其中這些專利申請全文結合在此引作參考。

在清潔、涂覆或蝕刻處理的過程中橫貫基板的均勻流體分布可以 改進在清潔處理過程中從基板去除微粒、改進在涂覆操作中橫貫基板 施加的膜的均勻性、或改進在蝕刻操作中從基板去除的膜層的均勻性。 可旋轉基體或刷具芯體可被用于橫貫基板而分布流體，其中所述可旋 轉基體或刷具芯體具有泡沫刷具，所述泡沫刷具覆蓋所述可旋轉基體 或刷具芯體。

在制造用于多孔墊的可旋轉基體中，并且尤其在基體具有支承墊 的基體的每單位面積的高比例的開口表面面積，在注射成型加工中或 在后模塑機加工過程中基體對于高溫的暴露可導致可旋轉基體的尺寸 誤差或尺寸穩定性的損失。需要便宜的、輕重量的、尺寸穩定的可旋 轉基體部件，其中所述基體部件在模塑并且精修操作過程中保持尺寸 穩定性。需要便宜的、輕重量的、尺寸穩定的可旋轉基體部件，其中 所述基體部件支承多孔墊，所述墊與基體中的一個或多個空隙(void) 互鎖，其中基體在用于清潔諸如晶片或平板顯示器的基板的過程中表 現出尺寸穩定性。

本發明的實施例包括可旋轉基體或可旋轉刷具芯體，以及用于制 造可旋轉基體或刷具芯體的方法，其中所述可旋轉基體或刷具芯體在 基板擦洗、清潔或涂覆操作中與覆蓋的海綿刷具或其它泡沫材料一起 使用。基板可以是任何基板，所述基板需要承受這樣的操作以完成清 潔操作、涂覆、蝕刻操作、或其它基板表面制備操作。例如，基板可 以是半導體晶片、盤、平坦面板、或有益于可旋轉基體的任何其它類 型的工件，其中所述可旋轉基體可沿可旋轉基體的整個長度或一部分 將均勻控制的量的流體傳輸經過刷具材料。可旋轉基體或刷具芯體具 有中央孔或導管，其中所述中央孔或導管具有在第一端部與第二端部 之間延伸的長度。第一端部具有通到孔中的開口，所述孔由沿孔的內 側長度延伸的可旋轉基體的內側表面限定。各開口將可旋轉基體的內 側表面與外側表面流體連通，并且各開口可具有這樣的軸線，所述軸 線大致或基本上平行于形成開口的模板的徑向分離軸線，模板的徑向 分離軸線基本上將所述模板一分為二。在一些實施例中，可旋轉基體 包括多個開口，所述開口分別具有軸線，其中所述軸線大致或基本上 平行于將可旋轉基體劃分成兩個半圓柱形殼或部分的平面的z軸線， 所述平面包括可旋轉基體或刷具芯體的旋轉軸線。可旋轉基體中的開 口可以沿基體的一個半圓柱形殼部分設置，而第二孔口可沿基體的第 二半圓柱形殼部分設置。每個半殼中的孔口或開口提供了可旋轉基體 的內側表面或孔與可旋轉基體的外側表面之間的流體連通。

在本發明的一些實施例中，可旋轉基體或刷具芯體中的開口可以 是部分地或完全地充滿諸如多孔材料的泡沫或海綿，其包括或形成覆 蓋可旋轉基體或刷具芯體的刷具。在一些實施例中，多孔材料在可旋 轉基體或刷具芯體的孔中形成溝槽或芯體，沿可旋轉基體或刷具芯體 的長度分布液體。在其它實施例中，覆蓋基體的刷具通過機械結合、 粘合、化學結合或任何這些的組合的方式與可旋轉基體互鎖。

在一些實施例中，可旋轉基體或刷具芯體是由具有封閉單元結構 的模塑的非多孔熱塑性材料形成。可旋轉基體或刷具芯體可具有與刷 具接觸的每面積的高開口面積或開口空隙容積與可旋轉基體的容積的 高比例。在一些實施例中，起泡劑為高空隙容積基體提供了硬度和/或 提供了結合表面，以便多孔墊或泡沫澆注到可旋轉基體的一個或多個 表面上。