[發(fā)明專利]微波等離子體消除設(shè)備

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680043944.0
• 申請(qǐng)日: 2006-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101340968A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·拉多尤;J·R·史密斯;A·J·西利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛(ài)德華茲有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/00
• 分類號(hào): B01D53/00;B01D53/32;H01J37/32
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 張雪梅;王小衡

1.一種微波等離子體消除設(shè)備，包括微波發(fā)生器、用于接收來(lái)自微波發(fā)生器的微波能量并在其中利用該微波能量產(chǎn)生等離子體的氣體腔室、用于監(jiān)控沒(méi)有在氣體腔室內(nèi)吸收的微波能量的量的裝置，和根據(jù)來(lái)自監(jiān)控裝置的輸出調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率的裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)備，其中監(jiān)控裝置包括用于檢測(cè)從氣體腔室反射的微波能量的功率的裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)備，其中檢測(cè)裝置被設(shè)置在波導(dǎo)內(nèi)，該波導(dǎo)用于將來(lái)自微波發(fā)生器的微波輻射傳送到氣體腔室。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或者3的設(shè)備，其中檢測(cè)裝置被設(shè)置在位于氣體腔室和微波發(fā)生器之間的隔離器內(nèi)。

5.根據(jù)上述任一權(quán)利要求的設(shè)備，其中調(diào)節(jié)裝置被配置為周期性地調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

6.根據(jù)上述任一權(quán)利要求的設(shè)備，其中氣體腔室具有接收氣體流的氣體入口和氣體出口，并且其中調(diào)節(jié)裝置被配置為響應(yīng)于進(jìn)入氣體腔室的氣體流的變化調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的設(shè)備，其中調(diào)節(jié)裝置被配置為響應(yīng)于進(jìn)入氣體腔室的氣體流的質(zhì)量流速的變化調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或者7的設(shè)備，其中調(diào)節(jié)裝置被配置為響應(yīng)于進(jìn)入氣體腔室的氣體流的成分的變化調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

9.根據(jù)上述任一權(quán)利要求的設(shè)備，其中調(diào)節(jié)裝置被配置為改變微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率，當(dāng)所述功率變化時(shí)監(jiān)控所述輸出，并根據(jù)監(jiān)控的輸出確定微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波的最佳功率。

10.根據(jù)上述任一權(quán)利要求的設(shè)備，其中調(diào)節(jié)裝置被配置為調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率，以最小化沒(méi)有在氣體腔室內(nèi)吸收的微波能量的量，同時(shí)保持該設(shè)備的氣體破壞效率在預(yù)定水平或者高于預(yù)定水平。

11.一種用于處理從多個(gè)處理腔室排放的氣體的微波等離子體消除設(shè)備，該設(shè)備包括微波發(fā)生器、用于將來(lái)自微波發(fā)生器的微波能量傳送給氣體腔室的波導(dǎo)，該氣體腔室用于接收所述氣體并在其中利用微波能量產(chǎn)生等離子體、用于在氣體腔室內(nèi)所述氣體的處理過(guò)程中檢測(cè)沒(méi)有在氣體腔室內(nèi)吸收的微波能量的量的檢測(cè)器，和根據(jù)來(lái)自檢測(cè)器的輸出調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率的控制器。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的設(shè)備，其中控制器被配置為調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率，以最小化沒(méi)有在氣體腔室內(nèi)吸收的微波能量的所述量，同時(shí)保持該設(shè)備的氣體破壞效率在預(yù)定水平或者高于預(yù)定水平

13.根據(jù)上述任一權(quán)利要求的設(shè)備，其中氣體腔室包括微波諧振腔。

14.一種操作微波等離子體消除設(shè)備的方法，該設(shè)備包括微波發(fā)生器和用于接收來(lái)自微波發(fā)生器的微波能量并在其中利用微波能量產(chǎn)生等離子體的氣體腔室，該方法包括以下步驟：監(jiān)控沒(méi)有在氣體腔室內(nèi)吸收的微波能量的量，并根據(jù)沒(méi)有吸收的微波能量的量調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

15.根據(jù)權(quán)利要求14的方法，其中監(jiān)控從氣體腔室反射的微波能量的功率，并根據(jù)反射的功率調(diào)節(jié)微波發(fā)聲器產(chǎn)生的微波能量的功率。

16.根據(jù)權(quán)利要求14或者15的方法，其中周期性地調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

17.權(quán)利要求14至16的任一項(xiàng)的方法，其中氣體腔室具有接收氣體流的氣體入口和氣體出口，響應(yīng)于進(jìn)入氣體腔室的氣體流的變化調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

18.根據(jù)權(quán)利要求17的方法，其中響應(yīng)于進(jìn)入氣體腔室的氣體流的質(zhì)量流速的變化調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

19.根據(jù)權(quán)利要求17或者18的方法，其中響應(yīng)于進(jìn)入氣體腔室的氣體流的成分的變化調(diào)節(jié)微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率。

20.根據(jù)權(quán)利要求14至19的任一項(xiàng)的方法，其中改變微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波能量的功率，當(dāng)所述功率變化時(shí)監(jiān)控沒(méi)有在氣體腔室內(nèi)吸收的微波能量的量，并根據(jù)沒(méi)有吸收的微波能量的量確定微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波的最佳功率。