[發明專利]用于激光燒蝕的靶及其制造方法

無效

• 申請號: 200680040130.1
• 申請日: 2006-08-11
• 公開（公告）號: CN101313081A
• 公開（公告）日: 2008-11-26
• 發明（設計）人: 小嶋正大
• 申請（專利權）人: 同和電子科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C01G1/00;C04B35/45
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 鄭樹槐;張平元

1.一種激光燒蝕用靶，該激光燒蝕用靶包含由通式RE_aBa_bCu_cO_x(其中， RE為釔和/或稀土元素)表示的RE類氧化物超導燒結體，其中，a+b+c＝6， 0.95＜a＜1.05，1.505≤c/b＜1.6，該氧化物超導燒結體中含有的氧化物超導 晶粒的晶界，有氧化銅和/或含銅氧化物和/或Ba-Cu化合物的析出相存在。

2.權利要求1所述的激光燒蝕用靶，其中，上述氧化物超導晶粒與上述 析出相的存在比例為98∶2～85∶15的范圍。

3.一種制造權利要求1或2所述的激光燒蝕用靶的方法，該方法包括以 下步驟：

稱量并混合含有RE元素的原料、含有Ba的原料、含有Cu的原料，制 得混合物；

在含有10～30％氧的氣氛中，在880℃～960℃下加熱該混合物5～20小 時，得到預燒成粉末；

將該預燒成粉末壓縮成形，得到成形體；

在含有10～30％氧的氣氛中，在900℃～980℃下加熱該成形體10～50 小時，得到RE類氧化物超導燒結體，

在稱量并混合上述含有RE元素的原料、含有Ba的原料、含有Cu的原 料而制得混合物的步驟中，在將該原料中所含的RE元素的摩爾數設為α、 Ba的摩爾數設為β、Cu的摩爾數設為γ時，以滿足α＝6-β-γ，0.95＜α＜ 1.05，1.6β＞γ≥1.505β地進行稱量混合。

4.一種制造權利要求1或2所述的激光燒蝕用靶的方法，該方法包括以 下步驟：

稱量并混合含有RE元素的原料溶液、含有Ba的原料溶液、含有Cu的 原料溶液，制得混合溶液；

沉淀步驟，通過濕式共沉淀法，從該混合溶液中沉淀出含有RE、Ba、 Cu各元素的混合物；

在含有10～30％氧的氣氛中，在880℃～960℃下加熱上述混合物5～20 小時，得到預燒成粉末；

將該預燒成粉末壓縮成形，得到成形體；

在含有10～30％氧的氣氛中，在900℃～980℃下加熱該成形體10～50 小時，得到RE類氧化物超導燒結體，

稱量并混合上述含有RE元素的原料溶液、含有Ba的原料溶液、含有 Cu的原料溶液而得到混合溶液的步驟中，在將該原料溶液中所含的RE元素 的摩爾數設為α、Ba的摩爾數設為β、Cu的摩爾數設為γ時，以滿足α＝6 -β-γ，0.95＜α＜1.05，1.6β＞γ≥1.505β地進行稱量混合。

5.權利要求3或4中所述的激光燒蝕用靶的制造方法，其中，該方法包 括以下步驟：

在含有10～30％氧的氣氛中，在880℃～960℃下加熱該預燒成粉末5～50 小時，得到燒成粉末；

粉碎該燒成粉末，使燒成粉末的中值粒徑為20μm以下；

對該粉碎得到的燒成粉末進行壓縮成形而得到成形體。

6.權利要求3至5中任一項所述的激光燒蝕用靶的制造方法，其中， 在加熱所述成形體而制得RE類氧化物超導燒結體的步驟中，加熱結束后的 降溫過程時，將氣氛的氧分壓設定為21％以上。