[發(fā)明專利]用于連續(xù)材料的等離子處理設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200680039443.5
• 申請日: 2006-09-12
• 公開（公告）號: CN101490793A
• 公開（公告）日: 2009-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彼得·齊格;普利莫茲·艾澤爾特
• 申請（專利權(quán)）人: 彼得·齊格;普利莫茲·艾澤爾特
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京華夏正合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 孫 征

1.一種用于連續(xù)材料的等離子處理設(shè)備，包括至少一個可抽真空的放電室(3a)，連續(xù)材料(1)被連續(xù)地運送穿過該放電室，各放電室(3a)具有外電極(5，51-57)，所述的外電極相對連續(xù)材料電絕緣設(shè)置，還包括用于設(shè)定至少一個放電室內(nèi)的氣氛的裝置和用于將放電能輸送到放電路徑(G)的供能裝置(30)，所述的放電路徑界定于各個獨立的放電室的外電極與作為內(nèi)電極的連續(xù)材料之間，其特征在于，供能裝置(30)是一個以脈沖形式釋放放電能的固有電流源，該電流源設(shè)置有至少一個用作儲能元件的、保持放電電流持續(xù)恒定的電感(32)，所述儲能元件和與之配屬的放電路徑(G)相連，或依次和與之配屬的多個放電路徑相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，在一個能量輸出脈沖內(nèi)，至少一個電感(32)總是與正好一個放電路徑(G)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，在能量輸出脈沖間隔內(nèi)完成不同放電路徑的轉(zhuǎn)換。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，電感(32)僅在能量輸出脈沖內(nèi)充電。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，電感(32)僅在能量輸出脈沖間隔內(nèi)充電。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，供能裝置(30)具有輸出限壓電路(33)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，供能裝置具有電子轉(zhuǎn)換電路，用于將任何所需極性的能量脈沖輸送給放電路徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，在至少一個供能裝置的電感與至少一個放電室之間設(shè)置至少一個補償電路，以分別抑制或補償寄生高頻效應(yīng)及其影響。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述補償電路為導(dǎo)線的電感或放電室和電極各自的電容。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，依次設(shè)置多個放電室，所述連續(xù)材料穿過該放電室，而不在放電室內(nèi)或放電室之間產(chǎn)生接觸。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，提供高效磁體組件(6，6’)，該磁體組件在外電極(5)的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生至少為120mT的強磁場，所述磁場的方向與連續(xù)材料平行。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述磁場為400mT。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述磁場為700mT。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述高效磁體組件(6’)設(shè)計為用于產(chǎn)生在其整個縱向延伸過程中均勻分布的磁場。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其特征在于，所述高效磁體組件(6’)為包圍外電極并且與連續(xù)材料(1)同軸設(shè)置的線圈(63)。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其特征在于，所述線圈設(shè)計為冷卻式。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其特征在于，所述線圈設(shè)計為液冷式線圈。

18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其特征在于，所述磁體為超導(dǎo)電磁體。

19.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其特征在于，所述高效磁體組件(6)設(shè)計為用于產(chǎn)生在其整個縱向延伸過程上不均勻分布的磁場，并且該磁場的最大值決定了連續(xù)材料處理強度的最大值。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的設(shè)備，其特征在于，所述高效磁體組件(6)設(shè)計為永磁體組件該永磁體形成具有多邊形橫截面的棱柱的側(cè)壁。

21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的設(shè)備，其特征在于，所述組件由各向異性的永磁體(61)組成。

22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的設(shè)備，其特征在于，所述組件由釹鐵硼(NdFeB)永磁體制成。

23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的設(shè)備，其特征在于，設(shè)置鐵軛元件(62)，其用于集中氣體放電區(qū)域內(nèi)永磁體裝置(6)的磁場。

24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的設(shè)備，其特征在于，所述永磁體的磁化方向沿著棱柱的橫截面的徑向。