[發(fā)明專(zhuān)利]薄片切斷用工作臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680038449.0
• 申請(qǐng)日: 2006-10-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101291785A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 野中英明;小林賢治;杉下芳昭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 琳得科株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B26D3/10
• 分類(lèi)號(hào): B26D3/10;B26D3/00;B26D3/08;B26D7/02;H01L21/304
• 代理公司: 上海恩田旭誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 丁國(guó)芳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種薄片切斷用工作臺(tái)，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及一種在沿板狀部件 外周，將粘接于該板狀部件的粘接片切斷時(shí)，可使得在粘接片上不發(fā)生起皺地 進(jìn)行切斷的薄片切斷用工作臺(tái)。

背景技術(shù)

歷來(lái)，在半導(dǎo)體晶片(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“晶片”)等板狀部件上，都粘附保護(hù)其 電路面用的保護(hù)片，或者在背面或表面粘附帶熱敏粘接性的粘接片。

作為這樣的薄片的粘附方法，已知有下述方法：使用在帶狀剝離片上臨時(shí) 粘接有帶狀粘接片的卷筒紙，在從剝離片剝離掉粘接片并粘附到晶片后，通過(guò) 沿晶片外周進(jìn)行切斷，把粘接片粘附到晶片上。(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：(日本專(zhuān)利)特開(kāi)2002-176011號(hào)公報(bào)

但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)的切斷裝置中，在晶片周?chē)a(chǎn)生的不要的粘接片， 必須從工作臺(tái)剝離。因此，為使因剝離拉力變細(xì)了的不要的粘接片部分，不會(huì) 被強(qiáng)粘在工作臺(tái)上而斷掉，通常都在工作臺(tái)上表面，進(jìn)行一些特殊加工，例如 進(jìn)行以氟樹(shù)脂加工為代表的表面處理，使其成為非粘接處理面。

但是，所述非粘接處理面若在晶片周?chē)ぷ髋_(tái)的整個(gè)上表面進(jìn)行，則會(huì)帶 來(lái)一些問(wèn)題，例如，在用切割器刀刃進(jìn)行切斷的時(shí)候，因粘接片被拉伸移動(dòng)而 產(chǎn)生褶皺，甚至在晶片W一側(cè)也混入褶皺，從而不能沿晶片外周完全切斷粘接 片。這種問(wèn)題，將隨切割器刀刃磨耗的增加，變得更加明顯。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明正是針對(duì)上述問(wèn)題而考慮出來(lái)的。其目的在于提供一種薄片切斷用 工作臺(tái)，在進(jìn)行切斷時(shí)，可防止粘接片上產(chǎn)生褶皺，并能高精度地切斷該粘接 片。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種薄片切斷用工作臺(tái)，它被用于在將平 面面積大于板狀部件的粘接片粘附到板狀部件之后，把露出板狀部件外周的部 分作為不要的粘接片用切斷裝置切斷，其中它包括作為上述板狀部件載置面的 內(nèi)側(cè)工作臺(tái)，和位于該內(nèi)側(cè)工作臺(tái)外側(cè)、與上述不要的粘接片區(qū)域相對(duì)面的外 側(cè)工作臺(tái)；上述外側(cè)工作臺(tái)的上表面，構(gòu)成為非粘接處理面的同時(shí)，在其局部 區(qū)域設(shè)置有上述不要的粘接片區(qū)域可以粘接的粘接部件。

在本發(fā)明中，上述粘接部件可在上述薄片切斷用工作臺(tái)上裝卸自如，可按 上述粘接片的粘接力，增減設(shè)置其粘接面積。

另外，上述粘接部件可由一個(gè)或多個(gè)構(gòu)成，在上述薄片切斷用工作臺(tái)上裝 卸自如，還可按上述粘接片的粘接力，增減設(shè)置其數(shù)量。

另外，上述粘接部件也可設(shè)置成包圍上述板狀部件外周的閉環(huán)形狀。

另外，上述粘接部件也可采用在上述板狀部件外周側(cè)斷續(xù)設(shè)置的結(jié)構(gòu)。

另外，上述粘接部件還可采用可用熱傳導(dǎo)或加熱器進(jìn)行加溫的結(jié)構(gòu)。

按照本發(fā)明，因?qū)⑼鈧?cè)工作臺(tái)的上表面，構(gòu)成為非粘接處理面，在其局部 區(qū)域設(shè)有粘接片可粘接的粘接部件，故不要的粘接片區(qū)域，可部分粘接在粘接 部件上。因此，即使切割器刀刃對(duì)粘接片作用有拉力，晶片外周的不要的粘接 片區(qū)域也不會(huì)移動(dòng)，可避免粘接片產(chǎn)生褶皺，可進(jìn)行高精度切斷。

特別是粘接部件設(shè)置成包圍板狀部件外周的閉環(huán)形狀時(shí)，更能使粘接片產(chǎn) 生皺褶的可能性完全消除，切斷精度能得到進(jìn)一步提高。

另外，即使上述粘接部件是在板狀部件外周側(cè)斷續(xù)設(shè)置的情況下，通過(guò)在 粘接面位置和分配上想辦法，也能防止粘接片起皺。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本實(shí)施方式涉及的薄片粘附裝置的概略主視圖。

圖2是表示上述薄片粘附裝置的概略立體圖。

圖3是表示薄片切斷用工作臺(tái)的概略俯視圖。

圖4是表示沿圖3的A-A線箭頭方向的放大剖視圖。

圖5是表示薄片切斷用工作臺(tái)的變形例的概略俯視圖。

圖6是表示薄片切斷用工作臺(tái)的另一變形例的概略俯視圖。

圖7是表示薄片切斷用工作臺(tái)的又另一變形例的概略俯視圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

13??工作臺(tái)

51??外側(cè)工作臺(tái)

51A?非粘接處理面

53??件(粘接部件)

63??板材(粘接部件)

52??內(nèi)側(cè)工作臺(tái)

W???晶片(板狀部件)

S???粘接片

S1??不要的粘接片

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。