[發(fā)明專利]氧化物介電層的形成方法及具有采用該形成方法得到的氧化物介電層的電容器層形成材料

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200680014390.1
• 申請(qǐng)日: 2006-04-28
• 公開（公告）號(hào): CN101167415A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 菅野明弘;杉岡晶子;阿部直彥;中島弘毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三井金屬礦業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H05K1/16
• 分類號(hào): H05K1/16;H05K3/46;C04B35/64;H01G4/12;H01G4/33;H01G13/00
• 代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 高龍?chǎng)?/td>

1.一種氧化物介電層的形成方法，其采用溶膠-凝膠法形成氧化物介電層，其特征在于，具有下列(a)～(c)工序：

(a)溶液制備工序，用于制備溶膠-凝膠溶液，該溶膠-凝膠溶液用于制造規(guī)定的氧化物介電層；

(b)涂敷工序，把在金屬基材的表面上涂敷上述溶膠-凝膠溶液、在含氧的環(huán)境中于120℃～250℃下進(jìn)行干燥、在含氧的環(huán)境中于270℃～390℃下進(jìn)行熱分解的一系列工序作為一個(gè)單位工序，重復(fù)多次該一個(gè)單位工序，在一個(gè)單位工序與一個(gè)單位工序之間，任意設(shè)置在550℃～1000℃下的惰性氣體置換環(huán)境或真空環(huán)境中進(jìn)行的預(yù)焙燒處理，進(jìn)行膜厚調(diào)整；

(c)焙燒工序，最后在550℃～1000℃下的惰性氣體置換環(huán)境或真空環(huán)境中進(jìn)行焙燒處理，形成介電層。

2.按照權(quán)利要求1所述的氧化物介電層的形成方法，其中，上述溶膠-凝膠溶液形成作為氧化物介電層的(Ba_1-xSr_x)TiO₃膜或BiZrO₃膜，其中，0≤x≤1。

3.按照權(quán)利要求1或2所述的氧化物介電層的形成方法，其中，上述溶膠-凝膠溶液形成含有0.01摩爾％～5.00摩爾％的選自錳、硅、鎳、鋁、鑭、鈮、鎂、錫中的一種或兩種以上的氧化物介電層。

4.按照權(quán)利要求1～3中任何一項(xiàng)所述的氧化物介電層的形成方法，其中，上述介電層的厚度為20nm～2μm。

5.按照權(quán)利要求1～4中任何一項(xiàng)所述的氧化物介電層的形成方法，其中，上述金屬基材為厚度為1μm～100μm的鎳箔、鎳合金箔、表層具有鎳層的復(fù)合箔、表層具有鎳合金層的復(fù)合箔中的任何一種。

6.按照權(quán)利要求5所述的氧化物介電層的形成方法，其中，上述鎳合金箔或表層具有鎳合金層的復(fù)合箔中的鎳合金層，由鎳-磷合金構(gòu)成。

7.一種電容器層形成材料，在用于形成上部電極的第1導(dǎo)電層與用于形成下部電極的第2導(dǎo)電層之間具有介電層，其特征在于，該介電層為采用權(quán)利要求1～6中任何一項(xiàng)所述的氧化物介電層的形成方法所得到的介電層。

8.一種印刷布線板，其特征在于，具有采用權(quán)利要求7所述的電容器層形成材料得到的內(nèi)置電容器層。