[發明專利]用于生長平坦半極性氮化鎵的技術

有效

• 申請號: 200680007694.5
• 申請日: 2006-03-10
• 公開（公告）號: CN101138091A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 特洛伊·J·貝克;本杰明·A·哈斯克爾;保羅·T·菲尼;史蒂文·P·登巴爾斯;詹姆斯·S·斯佩克;中村修二
• 申請（專利權）人: 加利福尼亞大學董事會
• 主分類號: H01L29/04
• 分類號: H01L29/04
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 劉國偉

相關申請案的交叉參考

本申請案依據35?U.S.C.119(e)部分主張以下共同待決和共同受讓的美國專利申請案的權益：

Troy?J.Baker，Benjamin?A.Haskell，Paul?T.Fini，Steven?P.DenBaars,James?S.Speck和Shuji?Nakamura于2005年3月10日申請的標題為“TECHNIQUE?FOR?THE?GROWTH?OFPLANAR?SEMI-POLAR?GALLIUM?NITRIDE”的美國臨時專利申請案第60/660,283號，代理人案號第30794.128-US-P1號；

所述申請案是以引用的方式并入本文中。

本申請案涉及以下共同待決和共同受讓的申請案：

Robert?M.Farrell，Troy?J.Baker，Arpan?Chakraborty，Benjamin?A.Haskell，P.MorganPattison，Rajat?Sharma，Umesh?K.Mishra，Steven?P.DenBaars，James?S.Speck和ShujiNakamura于2005年6月1日申請的標題為“TECHNIQUE?FOR?THE?GROWTH?ANDFABRICATION?OF?SEMIPOLAR(Ga，Al，In，B)N?THIN?FILMS，HETEROSTRUCTURES，AND?DEVICES”的美國臨時專利申請案第60/686,244號，代理人案號第30794.140-US-P1(2005-668)號；

Troy?J.Baker，Benjamin?A.Haskell，James?S.Speck和Shuji?Nakamura于2005年7月13日申請的標題為“LATERAL?GROWTH?METHOD?FOR?DEFECT?REDUCTION?OFSEMIPOLAR?NITRIDE?FILMS”的美國臨時專利申請案第60/698,749號，代理人案號第30794.141-US-P1(2005-672)號；

Michael?Iza，Troy?J.Baker，Benjamin?A.Haskell，Steven?P.DenBaars和Shuji?Nakamura于2005年9月9日申請的標題為“METHOD?FOR?ENHANCING?GROWTH?OFSEMIPOLAR(Al，In，Ga，B)N?VIA?METALORGANIC?CHEMICAL?VAPOR?DEPOSITION”的美國臨時專利申請案第60/715,491號，代理人案號第30794.144-US-P1(2005-722)號；

John?F.Kaeding，Michael?Iza，Troy?J.Baker，Hitoshi?Sato，Benjamin?A.Haskell，James?S.Speck，Steven?P.?DenBaars和Shuji?Nakamura于2006年1月20日申請的標題為“METHODFOR?IMPROVED?GROWTH?OF?SEMIPOLAR(Al，In，Ga，B)N”的美國臨時專利申請案第60/760,739號，代理人案號第30794.150-US-P1(2006-126)號；

Hitoshi?Sato，John?F.Keading，Michael?Iza，Troy?J.Baker，Benjamin?A.Haskell，StevenP.DenBaars和Shuji?Nakamura于2006年1月20日申請的標題為“METHOD?FORENHANCING?GROWTH?OF?SEMIPOLAR(Al，In，Ga，B)N?VIA?METALORGANICCHEMICAL?VAPOR?DEPOSITION”的美國臨時專利申請案第60/760,628號，代理人案號第30794.159-US-P1(2006-178)號；

John?F.Kaeding，Hitoshi?Sato，Michael?Iza，Hirokuni?Asamizu，Hong?Zhong，Steven?P.DenBaars和Shuji?Nakamura于2006年2月10日申請的標題為“METHOD?FORCONDUCTIVITY?CONTROL?OF?SEMIPOLAR(Al，In，Ga，B)N”的美國臨時專利申請案第60/772,184號，代理人案號第30794.166-US-P1(2006-285)號；