[發明專利]為測量系統確定隊列匹配問題和根本原因要點

有效

• 申請號: 200680006151.1
• 申請日: 2006-02-22
• 公開（公告）號: CN101460944A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發明（設計）人: 查爾斯·N·阿奇;小喬治·W·班克;埃里克·P·索利基
• 申請（專利權）人: 國際商業機器公司
• 主分類號: G06F17/18
• 分類號: G06F17/18
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 邸萬奎;黃小臨

1.一種確定正在測試的測量系統(MSUT)是否匹配包括至少一個其它測量系統的隊列的方法，該方法包括如下步驟：

基于包括人工制品的MSUT測值與基準測量系統(BMS)對該人工制品的基準測值之間的斜率引起的偏移偏差(SISOffset)、以及對MSUT和BMS進行比較的線性回歸分析的非線性(σ_{non-linearity})的參數組，來計算工具匹配精度(s1)，其中計算步驟(s1)將所述斜率引起的偏移偏差定義為：

SISoffset＝υ(1-β_MSUT)，

其中，SISoffset是斜率引起的偏移偏差，υ是用戶可選擇的過程窗口大小或數據范圍的分數，而β_MSUT是對MSUT和BMS進行比較的線性回歸分析的斜率；以及

確定所述工具匹配精度是否滿足匹配閾值(s2)，其中，在滿足所述匹配閾值的情況下，視為所述MSUT是匹配的。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述參數組還包括：

對MSUT和BMS進行比較的線性回歸分析的斜率，

MSUT的精度，

人工制品的MSUT測值與BMS對該人工制品的基準測值之間的平均偏差，

人工制品的基準測值和該人工制品的隊列平均測值之間的BMS平均偏差，以及

人工制品的基準測值和該人工制品的隊列平均測值之間的、BMS斜率引起的偏差。

3.如權利要求2所述的方法，其中，計算步驟(s1)將所述工具匹配精度定義為：

TMP=3βMSUT2σMSUT2+(offset-offsetBMS)2(SISoffset-SISoffsetBMS)2+σnon-linearity2,]]>

其中，TMP是工具匹配精度，β_MSUT是線性回歸分析的斜率，σ_MSUT是MSUT的精度，offset是平均偏差，offset_BMS是BMS平均偏差，SISoffset是斜率引起的偏移偏差，SISoffset_BMS是BMS偏移引起的偏差，而σ_{non-linearity}是非線性。

4.如權利要求1所述的方法，其中，在所述隊列僅僅包括一個其它測量系統時，所述參數組還包括：

對MSUT和BMS進行比較的線性回歸分析的斜率，

MSUT的精度，以及

人工制品的MSUT測值與BMS對該人工制品的基準測值之間的平均偏差。